판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 300 #9311042
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ID: 9311042
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
Overlay measurement system, 12"
Triple FOUP
Frontend: (3) Loadports
GEM / SECS and HSMS
E84 Enabled for OHT and AGV / RGV
(3) PIO Devices for OHT
E87 Based on E39
E40 / E94 / E90
CMP Measurement option
Adaptive noise reduction algorithm
Variable illumination spectrum
Color filter
(3) ADVANTAG Radio Frequency (RF) carrier ID Readers
Geometric model finder
Log recipe change file
S2 and CE Compliant
Signal tower
Operation manual on CD
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2011 vintage.
KLA/TENCOR Archer 300은 마스크 및 웨이퍼 산업을위한 최고의 검사 장비로, 고해상도 이미징 시스템과 고급 마이크로 프로세서가 특징입니다. 오늘날 빠르게 움직이는 반도체 제조 환경의 요구 사항을 충족시키기 위해 고안되었으며, 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 패턴 (mask pattern) 사진 해설에서 결함을 감지 및 수정하기위한 안정적인 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 이중 x-ray 카메라와 자동 알고리즘을 사용하여 연산자가 패턴 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 분석 할 수 있습니다. 기계의 AFaC (Automated Finding and Characterization) 기능은 검사된 웨이퍼 또는 마스크에서 결함을 스캔한 다음 결과 이미지를 사용자에게 전달합니다. 이 도구에는 최적의 사용성을 위한 직관적인 사용자 인터페이스도 있습니다. 자산은 여러 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 크기를 지원하며 다양한 결함을 감지할 수 있습니다. 최대 8 인치 또는 20cm 직경의 웨이퍼를 검사하고 최대 1,2m 크기의 마스크를 만들 수 있습니다. 이 모델은 고급 4K 이미징 (4K Imaging) 및 자동 검사 (Automated Inspection) 알고리즘을 사용하여 결함을 신속하게 감지하고 분석합니다. 최적의 성능을 얻기 위해, 장비는 견고하고 안정적으로 설계되어 있습니다. 설치, 유지 보수, 문제 해결이 간편한 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 강력한 진단 기능 (Diagnostic Function) 과 고급 열 보상 기법 (Thermal Compensation Technical) 을 통해 결함의 매우 안정적인 검사 및 측정을 보장합니다. 또한, 사용자는 검사 매개변수를 사용자 정의하여 응용 프로그램에 대한 최적의 성능을 보장할 수 있습니다. KLA Archer 300은 다양한 레이어 및 프로세스에서 마스크 및 웨이퍼 패턴 사진 해설을 검사하는 데 이상적입니다. 즉, 고객의 요구를 효율적이고 경제적으로 충족할 수 있는, 운영 품질을 보장하는 안정적인 툴입니다. 업계 최고의 성능, 신뢰성, 기능을 갖춘 이 시스템은 반도체 제조업체에게 적합한 선택입니다.
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