판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 300 #293800548

KLA/TENCOR Archer 300은 photomask, wafer 및 reticle 품질 제어를 최적화하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최신 이미징 기술이 적용되었으며, 사진 마스크, 리소그래피 웨이퍼, 레티클의 결함을 식별하고 분석할 수 있는 총 광학 검사 (정확도, 속도, 반복성) 를 제공합니다. 이 시스템은 전체 포토마스크 (photomask) 또는 웨이퍼 (wafer) 에 대한 빠르고 정확한 인덱싱 및 검사 기능을 제공하며, 즉시 피드백을 통해 결함을 확인하고 분석할 수 있습니다. 또한, 사용자는 검사 설정을 조정하여 검사 프로세스의 정확도와 속도를 더욱 최적화할 수 있습니다. KLA Archer 300은 4 메가 픽셀 이미지 센서와 고정밀 XY 기울기 단계를 갖추고 있으며, 일반적으로 10 나노미터 이하에서 발견되는 작은 입자, 얇은 잔류 물 및 기타 이상을 포함하여 결함을 정확하게 식별하는 고해상도 이미지를 제공합니다. 이 장치는 전체 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 를 실시간으로 검사하여 가능한 가장 넓은 범위를 포함하는 정보를 캡처할 수 있습니다. 또한 TENCOR Archer 300을 사용하면 특정 유형의 결함에 대한 임계값을 설정할 수 있으며, 이는 후속 재검사에 적용할 수 있습니다. 이 기계는 또한 지능형 결함 인식을 통해 자동 규칙 기반의 웨이퍼 리소그래피 수리를 제공합니다. 수리 프로세스는 시간 (시간) 이 아닌 분 (분) 안에 완료되어 생산 처리량이 증가하고 수율이 향상됩니다. Archer 300 을 사용하면 결함 목록, 마스크 인쇄 이미지, 피쳐 치수, 기타 측정 데이터 등의 결과를 손쉽게 검토하여 정확한 분석/진단 작업을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR Archer 300은 포토 마스크 및 웨이퍼를 검사하고 측정하는 데 이상적인 도구이며, 최적의 품질 제어를 보장하기 위해 정확하고, 반복 가능하며, 안정적인 결과를 제공합니다.