판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 300 LCM #9234791

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KLA / TENCOR Archer 300 LCM
판매
ID: 9234791
웨이퍼 크기: 12"
Overlay measurement system, 12".
KLA/TENCOR Archer 300 LCM은 박막 마이크로 디바이스에 대한 결함 처리를 빠르고 정확하게 검사하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 150mm (6 ") 및 200mm (8") 웨이퍼의 결정, 균열 및 입자와 같은 심각한 결함을 검사하도록 설계되었습니다. KLA Archer 300 LCM에는 고해상도 레이저 현미경 (LM) 과 고해상도 검사 카메라를 포함하는 고급 석판화 시스템이 장착되어 있습니다. LM의 가변 확대/축소 범위는 0.5 ~ 4.5mm이며, 기능을 6.25äm까지 정확하게 식별 할 수 있습니다. 검사 카메라의 해상도는 16 비트 픽셀 깊이의 1.5äm이며, 좋은 기능과 나쁜 기능을 쉽게 판별할 수 있습니다. LM과 카메라는 모두 결함 사전 분석을위한 고급 (advanced) 알고리즘을 제공하여 연산자 식별 시간을 줄입니다. 이 장치는 빠르고 정확하게 이미지를 쉽게 얻을 수 있으므로 감지 주기 (detection cycle) 시간을 줄일 수 있습니다. 또한 정확한 검사를 보장하는 교정 기능이 내장되어 있습니다. 또한 TENCOR Archer 300 LCM에는 여러 이미지 편집 도구가 포함되어 있으며, 운영자가 있을 수 있는 결함을 신속하게 식별하고 측정할 수 있습니다. 이 기계는 결함 유형을 자동으로 인식, 분류하는 강력한 자동 결함 감지 (automated defect detection) 알고리즘을 갖추고 있습니다. 이것은 수동 검사의 필요성을 줄이는 데 도움이됩니다. 이 도구는 쉽게 참조할 수 있도록 이미지를 디지털 방식으로 기록하고 저장합니다. Archer 300 LCM은 KLA IP (Intellectual Property) 및 자동 장애 해결 소프트웨어에 연결하여 추가 데이터 검토 기능을 제공합니다. 이 자산은 대부분의 타사 Wafer 검사 소프트웨어 및 데이터 분석 플랫폼과도 호환되며, 사용자는 결과를 원격으로 확인, 분석, 보고할 수 있습니다. KLA/TENCOR Archer 300 LCM은 업계 표준을 충족하고 능가하는 안정적이고, 빠르고, 사용하기 쉬운 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 고해상도 이미징 (High-Resolution Imaging) 및 자동화된 결함 감지 (Automated Defect Detection) 기술은 철저하고 정확한 검사를 빠르고 효율적으로 수행하므로 결함 및 품질 제어에 필요한 시간과 비용을 줄일 수 있습니다.
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