판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 10 #9205450
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판매
ID: 9205450
Overlay inspection system, 8"
Does not have KLASS computer
Halogen light source:
Halogen lamp (HLS)
P/N: 127-483105-000 (X)
PDA Gain: X, Y Axis
Wafer surface focus and analysis patened
LINNIK Camera uniformity
AMS Camera uniformity
GEM/SECS
Fringes:
ON to OFF mean time
OFF to ON mean time
Line conditioner: 60 Hz
Power: 208/230 V, 3 Phase/1 Phase 50/60 Hz
Noise test:
AMS Camera noise level: 0.68 GL
Light map: 30 Min
50 BP (LINNIK)
12K BP (AMS 12K µm FOV)
PDA:
PDA Gain: 2527 GL
PDA X Axis centering current signal: 653
PDA Y Axis centering current signal: 648
System:
Check shutter response time
Fringes ON to OFF mean time: 65.3 msec 20<x<80
Fringes OFF to ON mean time: 44.5 msec 20<y<80
Check translation vector:
Co-ordinate:
x: 1848.9 µm
Y: 61496.6 µm
Z: 707.2 µm
2004 vintage.
KLA/TENCOR Archer 10은 포토 마스크, 웨이퍼 및 기타 플랫폼 불가사의 기판의 결함을 감지하고 측정하는 데 사용되는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 EIL (Advanced Emissive Imaging Luminescence) 기술이 탑재되어 있으며, 밝은 필드 및 어두운 필드 이미지를 활용하여 고해상도의 결함을 감지하고 분석합니다. 신속하고, 정확하며, 자동화된 결함 검토를 통해 사용자에게 탁월한 처리량과 성능을 제공합니다. KLA Archer 10 유닛은 평면 (flat) 및 곡면 (curved surface) 을 모두 사용하여 다양한 응용 프로그램과 프로세스에서 효과적으로 설계되었습니다. 리소그래피, 에치, 증착, 증착 패턴 및 유전체 손상으로 인한 결함을 감지 할 수 있습니다. 따라서 더욱 빠르고 정확한 결함 감지/분류 (detection and classification) 기능을 통해 결함 관련 비용을 절감할 수 있습니다. 고해상도 이미징, 자동화된 결함 검토 (Automated Defect Review) 및 포괄적인 결함 설명서의 조합으로 TENCOR ARCHER10 은 가장 까다로운 산업 환경을 위한 강력한 툴입니다. 이 제품은 결함 제어 소프트웨어 솔루션과 같은 다른 장치와 쉽게 통합되어 정확한 실시간 데이터 분석 (real-time data analysis) 기능을 제공합니다. TENCOR Archer 10 기계는 브라이트 필드 및 다크 필드 이미징을 통해 결함을 빠르고 정확하게 식별 할 수 있습니다. 이를 통해 안정적이고 반복 가능한 결과와 신속한 결함 분석이 가능합니다. 고급 멀티 다이 이미징은 정확성과 속도를 보장합니다. 이 도구의 사용자 친화적 인 소프트웨어를 사용하면 쉽게 작동할 수 있으며, 고급 기능을 통해 최고의 정확도를 확보할 수 있습니다. ARCHER10 의 Automation Suite 는 설치가 쉽고 유연한 데이터 분석 기능을 제공하며, 통합 3D 샘플 스캐너 및 검사 엔진은 Wafer 및 기판을 처리할 수 있습니다. KLA ARCHER10은 또한 놀랍도록 상세한 결함 이미지를 제공합니다. 이 소프트웨어에서는 결함을 자세히 분석, 표시할 수 있으며, 따라서 결함 크기와 모양을 확대/축소하여 평가할 수 있습니다. 또한 필터 기반 결함 식별 도구 (filter-based defect identification tool) 를 사용하여 잘못된 결함을 필터링할 수 있으며, 사용자가 정확한 결과를 보고 있는지 확인할 수 있습니다. 또한이 자산은 포괄적 인 결함 제어를 제공합니다. 결함 보고, 결함 분석, 실시간 SPC 등의 기능을 통해 결함 추세를 신속하게 파악, 분류, 모니터링할 수 있습니다. KLA의 Archer 10은 전반적으로 고급 고속 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 직관적인 소프트웨어, 멀티다이 이미징, 자동화된 결함 검토 및 포괄적인 결함 제어 기능을 갖춘 KLA/TENCOR ARCHER10 은 업계 최고의 처리량과 성능을 제공합니다.
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