판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 10 #9104743

KLA/TENCOR Archer 10은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계된 고급 광학 이미징 장비입니다. 이는 CD-SEM (critical-dimension scanning electron microscopy) 과 같은 반도체 애플리케이션에 적합하며, 높은 정확도로 집적 회로 (IC) 의 중요한 특징을 측정 할 수 있습니다. KLA Archer 10의 핵심은 레이저, 접촉 및 전자 빔 이미징과 혁신적인 자동 패턴 인식 (APR) 장치를 결합한 독특한 광학 석판 시스템입니다. 이를 통해 TENCOR ARCHER10은 매우 복잡한 패턴 측정에서 전례없는 정확성과 처리량을 달성 할 수 있습니다. 0.1 미크론 (미크론) 정도의 작은 장치를 정확하게 측정할 수 있으며, 다양한 모양, 크기, 기능을 가진 패턴을 자동으로 식별할 수 있습니다. TENCOR Archer 10은 또한 최대 8K 해상도의 웨이퍼 및 마스크 이미지를 캡처 할 수있는 고해상도 CMOS 이미징 머신을 갖추고 있습니다. 이 툴을 사용하면 기판/결함에 대한 고해상도 (Hi-Resolution) 뷰를 사용할 수 있으므로 운영 프로세스를 시작하기 전에 모든 문제를 파악하고 해결할 수 있습니다. 또한, 통합 OFA (Optical Fault Analysis) 자산을 통해 모델을 통과할 때 웨이퍼 결함을 실시간으로 감지 및 평가할 수 있습니다. 마지막으로, ARCHER10 은 최대 4 개의 독립적인 이미징 소스를 수집하고 동기화할 수 있는 강력한 데이터 수집 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 매우 효율적이므로 IC 장애 분석 (IC failure analysis) 또는 IC 성능 튜닝 (IC performance tuning) 과 같은 단일 IC에 대한 심층적인 조사를 수행할 수 있습니다. 전반적으로, KLA ARCHER10은 마스크 및 웨이퍼를 안정적이고, 정확하고, 빠르게 검사하도록 설계된 강력하고 고급 장치입니다. 온보드 기능, 고도로 민감하고 고급 이미지 센서, 실시간 패턴 인식 기능으로 반도체 (semiconductor) 검사에서 최고의 머신이 됩니다.