판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9389836

KLA / TENCOR Archer 10 XT
ID: 9389836
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer 10 XT는 HLDT (High Brightness Laser Deflection Technology) 를 사용하여 매우 높은 해상도의 이미지를 생성하는 혁신적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 공랭식 (air-cooled), 완전 차폐 (fully shielded) 레이저 소스가 있으며, 데이터 보고의 정확도가 높으면서 열 드리프트의 위험을 최소화하도록 설계되었습니다. 고속 비접촉식 (non-contact) 옵티컬 유닛은 마스크 플레이트를 수동으로 정렬할 필요가 없으므로, 시간이 지나면 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 KLA ARCHER10XT 는 탁월한 수준의 세부 정보와 정확성을 제공하는 고급 이미징 알고리즘을 갖추고 있습니다. 이 기계는 고급 HCI (High Contrast Imaging) 기술을 사용하여 웨이퍼에 장애가 발생할 수 있는 이상 및 결함에 대한 설계를 분석합니다. 이 최신 소프트웨어는 자동 결함 감지 (Automatic Defect Detection), 결함 분류 (Defect Classification) 및 결함 평가 (Defect Assessment) 기능을 통합하여 와퍼를 종합적으로 검토합니다. 또한, 다양한 이미징 조건과 요구 사항에 맞게 고급 (advanced) 광 헤드를 사용자 정의할 수 있으므로 유연성이 극대화되고 허위 감지 (false detections) 가 줄어듭니다. TENCOR ARCHER 10XT (TENCOR ARCHER 10XT) 는 고급형 패턴 매칭 소프트웨어를 통해 픽셀별 결함을 발견하며, 동일한 것으로 보이지만 실제로는 약간 일치하지 않는 영역을 식별할 수 있습니다. 이 도구는 정확한 선형 측정 (linear measurement) 기능을 사용하여 대량의 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 측정할 수 있습니다. 스캐너는 또한 최고 1.2m/s 및 최대 2000mm x 2000mm 더 큰 기판으로 패턴을 검사 할 수 있습니다. KLA Archer 10 XT (Archer 10 XT) 는 업계 최고의 고급 검사 및 도량형 기능 덕분에 고품질 설계를 검증하고, 고객에게 영향을 미치기 전에 장애 발생 가능성을 없앨 수 있습니다. 탁월한 이미지 해상도, 고속 작동, 디테일 지향 (Detail-oriented) 기능을 통해 이 자산을 마스크 및 웨이퍼 어플리케이션용으로 완벽하게 선택할 수 있습니다. TENCOR ARCHER10XT (TENCOR ARCHER10XT) 를 사용하면 고객에게 업계 최고의 품질의 구성요소를 제공할 수 있습니다.
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