판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 10 XT+ #9351476

KLA / TENCOR Archer 10 XT+
ID: 9351476
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Overlay inspection system, 12" 2008 vintage.
KLA/TENCOR Archer 10 XT + 는 다양한 고급 이미징 기능을 제공하는 고급 통합 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 와퍼 (Wafer) 와 광학 레티클 (Optical Reticle) 의 빠르고 정확한 현장 이미지를 제공하며 효율성을 극대화하고 검사 시간을 단축하도록 설계되었습니다. KLA Archer 10 XT + 에는 고해상도 옵틱, 완전 자동 컴퓨터 제어 정렬 장치, 전동식 x-y 스테이지 및 자동 초점 스캔 기능이 포함됩니다. 이 기계는 500mm x 550mm 시야를 이미징 할 수 있으며, 픽셀당 최대 0.4hm 해상도입니다. 통합 옵틱 모듈에는 LED 조명, 조절 가능한 플래시 강도, 웨이퍼 및 마스크 패턴의 최적의 조명을 위한 가변 레이저 강도가 포함됩니다. 이 도구에는 또한 독특한 "원근 보정 (Perspective Compensation)" 도구가 장착되어 있으며, 이를 통해 에셋은 패턴을 0.35 m까지 시각화 할 수 있습니다. TENCOR Archer 10 XT + 는 고속 이미징을 제공하며, 다른 어떤 통합 모델보다 처리 속도가 최대 2 배 빠릅니다. 이 속도는 신속한 감지 및 결함 진단을 보장하며, 이는 프로세스 수익률 및 품질 보증을 향상시킵니다. 내부적으로이 장비는 고급 소프트웨어 알고리즘 (어플리케이션을 위해 제작된 사용자 정의) 을 사용하여 고정밀 이미징 옵틱 (optic) 에서 직접 나오는 이미지를 처리합니다. 이러한 알고리즘은 데이터를 압축하여 원래 신호 대 잡음비 (signal-to-noise ratio) 를 유지하고 필드 이미지의 결함을 동시에 감지하고 특성화합니다. 또한 이 소프트웨어는 시스템 설정을 사용자 정의할 수 있는 유연성 (Flexibility) 과 이미지 프로세서 (Image Processor) 에서 직접 고해상도 이미지를 볼 수 있는 기능도 제공합니다. 이 장치의 전반적인 유연성 (Flexibility) 과 모듈화 (Modulization) 는 다른 마스크 및 웨이퍼 어플리케이션에 맞게 효율적으로 조정할 수 있도록 합니다. 애플리케이션에 따라, 광범위한 구성이 시스템에 적용될 수 있습니다. 예를 들어, [도구] 에 [비구면 광학] 및 [구경 광학] 을 추가하여 이미지의 품질을 향상시킬 수 있으며, 여러 스테이지가 있는 이미징 시스템을 쉽게 구성할 수 있습니다. 간단히 말해, Archer 10 XT + 는 고급 통합 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 마스크 및 웨이퍼 이미징을 위해 특별히 설계된 빠른 처리량, 고해상도, 사용자 정의 가능한 구성, 소프트웨어 알고리즘을 제공합니다. 첨단 이미징 기능으로 결함을 감지하고, 프로세스 수익률을 대폭 향상시키고, 품질 보장을 받을 수 있습니다.
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