판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 10 XT+ #9313119

ID: 9313119
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Overlay inspection system, 12" 2006 vintage.
KLA/TENCOR Archer 10 XT + 는 고성능 웨이퍼 결함 및 표면 분석을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA Archer 10 XT + 는 고해상도 이미징 기술을 활용하여 가장 작은 웨이퍼 입자 및 30 미터 이상의 깊이에서 결함까지 높은 처리량을 감지 할 수 있습니다. 고속, 다중 스펙트럼 광원과 결합 된 TENCOR Archer 10 XT + 는 마스크 정렬, 다이 본딩 및 레티클 검사와 같은 중요한 프로세스 제어 응용 프로그램에 적합합니다. Archer 10 XT + 는 검사 결과의 획득, 분석, 보고를 단순화하도록 설계된 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. 이 사용자 친화적인 인터페이스를 사용하면 배율 (Magnification), 광원 (Light Source), 모터 제어 (Motor Control) 등 다양한 설정을 조정할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 2 개의 갈바 노미터 거울 (galvanometer mirror) 의 통합을 통해 마이크로 자동 초점 및 마이크로 포트 도량형을 수행 할 수 있으며, 이는 고해상도 선별이 달성되도록 도와줍니다. 이 장치의 소프트웨어는 Olympus, Applied Materials 및 KLA의 업계 최고의 데이터 플랫폼과 완벽하게 호환됩니다. 따라서 다양한 애플리케이션에서 사용 편이성과 데이터 호환성이 향상됩니다. 또한, 이 기계는 데이터 분석을 능률적으로 수행하도록 설계된 고유한 분석 엔진 (analysis engine) 을 통해 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. 인상적인 기능 목록을 갖춘 KLA/TENCOR Archer 10 XT + 는 고급 웨이퍼 검사를위한 고급 다용도 도구입니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 고급 소프트웨어 (advanced software) 및 마이크로 자동 초점 (micro-autofocus) 기술이 결합되어 정확하고 효율적인 결과를 얻어 다양한 중요한 프로세스에 적합합니다. 마스크 정렬에서 다이 결합까지 KLA Archer 10 XT + 는 고정밀 웨이퍼 검사를위한 효과적인 도구입니다.
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