판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9276259

KLA / TENCOR Archer 10 XT
ID: 9276259
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Overlay inspection system, 12" 2005 vintage.
KLA/TENCOR Archer 10 XT는 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수있는 검사를 달성하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 독점적, 고해상도 광학 시스템, 10 배 확대, 통합 웨이퍼 모션 기술 등을 갖추고 있어 하위 아이콘 수준의 정확성을 제공합니다. 빠르게 발전하는 기술의 조합으로 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 결함을 검사하는 효율적이고 정확한 장치가 생성됩니다. KLA ARCHER10XT는 6 가지 레이저 초점 이미징을 사용하여 마스크 및 웨이퍼에서 중요한 영역을 상세하게 이미징합니다. 처리량이 높은 이미징 기능이 있으며, 크기가 4 미크론까지 결함을 감지할 수 있습니다. 이것은 여러 기술의 조합을 통해 수행됩니다. 2 개의 레이저 헤드를 갖춘 고급 조명기를 포함하여; 초록색과 빨간색 레이저. 이 두 레이저 파장 사이에 존재하는 대조는 이미지 분석 (image analysis) 과 결함 검출 (defect detection) 을 가능하게한다. 이미징 도구는 이미지 데이터 (image data) 에서 결함 신호를 추출하는 최적화된 알고리즘과 통합됩니다. 이 알고리즘은 초당 최대 85,000 픽셀 (pixel per second) 까지 처리하여 수집된 데이터를 보다 정확하고 빠르게 분석할 수 있습니다. 또한 TENCOR ARCHER 10XT는 자동 결함 감지 및 분류 모듈을 갖춘 강력한 Software Analysis Suite와 통합됩니다. 이 모듈은 결함을 정확하고 신속하게 감지하고 분류할 수 있으며, 실시간 결함 분석, 결함 정렬, 마스크 스캔 검토, 실시간 통계 평가 등을 제공합니다. 또한 KLA Archer 10 XT (Archer 10 XT) 는 사용자에게 친숙한 직관적인 그래픽 인터페이스를 제공하여 강력한 기능을 빠르고 쉽게 탐색할 수 있습니다. 또한 대화형 사용자 인터페이스 (Interactive User Interface) 는 도움말 파일과 자산 운영을 지원하는 포괄적인 도구 집합을 제공합니다. 또한, 컴팩트한 설계를 통해 설치/유지 보수가 간편해지고, 다운타임이 최소화됩니다. 전반적으로 TENCOR ARCHER10XT는 매우 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 뛰어난 광학 성능, 뛰어난 이미지 획득 기능, 고급 소프트웨어 분석 제품군의 조합으로 대용량 (high-volume) 및 정밀 검사 (precision inspection) 요구를 모두 충족할 수 있습니다. 이 장비의 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 빠른 학습 곡선을 보장하며, 크기가 작아 설치 및 유지 보수가 용이합니다.
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