판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 10 XT+ #9261900

KLA Archer ™ 10 XT + 는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 완전 자동화 된 고급 장비입니다. 이 시스템은 포토 마스크 및 웨이퍼의 결함을 감지하기 위해 고급 IC 제조 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. KLA/TENCOR Archer 10 XT + 는 고해상도 이미징 기술을 사용하여 표면에서 작은 결함을 감지할 수 있는 높은 화질과 선명한 초점을 제공합니다. 여기에는 다양한 패턴과 특징을 측정하고 분석 할 수있는 자동 도량형 장치 (automated metrology unit) 가 있습니다. 이 기계의 소프트웨어 제어, 5 축 선형 모터 스테이지는 마스크와 웨이퍼를 빠르고 정확하게 조작 할 수 있습니다. 이 도구에는 웨이퍼 당 최대 100 억 개의 측정 포인트를 제공하는 레이저 간섭 스캐너가 장착되어 있습니다. 또한 레이저 조명 초협소 검사 헤드 (Laser-illuminated, Ultra-narrow-field Inspection Head) 가 있으며, 고해상도 스캔을 위해 사용될 수있는 조명 현미경 영역이 있습니다. KLA Archer 10 XT + 는 결함을 식별하기 위해 강력한 이미지 인식 기술을 사용합니다. IAPS (Imaging Analysis Processing Asset) 는 결함 상태의 데이터를 자동으로 출력할 수 있으며, 공정 오염에서 미세한 입자, 긁힘 및 미세한 입자를 감지할 수 있습니다. 또한 모델의 원격 진단 (remote diagnostic) 기능은 결함 정보 평가, 결함 진단, 장비 작동 상태 모니터링을 위한 원격 액세스를 제공합니다. 마지막으로, TENCOR Archer 10 XT + 는 다운타임을 최소화하면서 정확하고 수량화된 결과를 얻을 수 있는 신속한 교정 기능을 제공합니다. 정밀도가 높은 자동 교정 장비는 광학 장치 (optics) 와 기계적 단계 시스템 (mechanical stage system) 의 정렬을 측정하여 최고의 정확성과 반복 성을 보장 할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 애플리케이션에 대한 강력한 검사 솔루션을 제공할 수 있습니다. 마이크론 수준의 결함, 패턴 기반 검사 (pattern-based inspection), 에치 (etch), 저항 (resist) 관련 결함 등 가장 까다로운 임베디드 결함 검사 요구를 검사할 수 있습니다. 하이엔드 기술과 기능으로 결함을 신속하고 정확하게 감지할 수 있으며, 프로세스 안정성 (process stability) 과 수율 (revield) 을 높일 수 있습니다.