판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9092331

KLA/TENCOR Archer 10 XT는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 포토 마스크, 웨이퍼 및 기타 반도체 기판의 자동 검사 및 분류를 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 고성능 옵틱 (optic), 고급 이미지 처리 알고리즘, 레이저 (laser) 기술을 결합한 완전 통합형 독립형 시스템으로, 마스크 기능의 정확하고 상세한 특성을 제공합니다. KLA ARCHER10XT는 자동 다중 파장 투사 장치를 사용하여 마스크와 웨이퍼의 고정밀 이미지 데이터를 가져옵니다. 프로젝션 머신은 10 메가 픽셀 디지털 CMOS 이미지 센서를 특징으로하며, 해상도는 3.3 m이며 전체 정확한 측정 값은 최대 0.2 jm입니다. 여기에는 가변 수치 조리개 범위가있는 고급 광학 (advanced optics) 과 측정 요구사항에 따라 조명강도와 파장을 조정하는 레이저 제어 모듈 (laser control module) 도 포함됩니다. 이미지 데이터의 데이터 처리 (data processing) 는 여러 알고리즘을 구현하는 자동화된 이미지 사전 처리 및 분석 도구를 통해 수행됩니다. 이러한 알고리즘은 색인, 피쳐 크기, 특정 속성과 관련된 이미지 데이터를 분석합니다. 또한 분류 알고리즘 (Classification Algorithm) 을 적용하여 데이터 분석을 최적화하고 피쳐의 정확한 분류를 얻을 수 있습니다. 처리 후, TENCOR ARCHER 10XT는 광범위한 보고서를 생성하고 데이터 분석을 익스포트 가능한 형식으로 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 다른 검사 시스템의 추가 분석을 위해 원시 데이터 파일을 내보낼 수도 있습니다. 또한 품질 보증 제어를 위한 상세한 추적 가능한 문서를 제공합니다. 또한, 자산은 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection) 및 프로버 자동화 시스템 (Prober Automation System) 과 완벽하게 호환되며 완전 자동화 환경에서 실행되도록 구성할 수 있습니다. 또한 ARCHER10XT는 사용 편의성과 작동을 위해 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 및 직관적인 탐색 기능을 제공합니다. 여기에는 사전 구성된 템플릿 라이브러리와 맞춤식 검사 작업을 위한 사용자 정의 템플릿 (User-Defined Template for Tailored Inspection Task) 및 다양한 마스크와 웨이퍼에 맞춘 여러 자동 레시피가 포함되어 있습니다. 따라서 원하는 매개변수를 정의하고 저장하기 쉽고, 검사 시간과 운영 비용을 크게 줄일 수 있습니다. TENCOR Archer 10 XT는 포토 마스크 및 웨이퍼 제조업체에 이상적인 솔루션입니다. 마스크 (mask) 기능과 결함에 대한 빠르고, 정확하며, 포괄적인 특성화와 분석을 제공하는 매우 정확하고, 신뢰할 수 있는 검사 모델을 제공합니다.