판매용 중고 KLA / TENCOR Archer 10 AIM+ #9236397

KLA/TENCOR Archer 10 AIM + 는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 고급 이미징 도량형 및 결함 검토 (AIMD) 솔루션입니다. 이 장비는 브라이트필드 라이트 (brightfield light), 고급 옵틱 (advanced optics), 고속 카메라 (fast camera) 기술을 조합하여 마스크와 웨이퍼의 결함을 식별합니다. 시스템은 HMPST (High-Mark Point Source) 를 사용하여 정확하고 반복 가능한 이미지를 조명하고 캡처합니다. KLA Archer 10 AIM + 에는 응용 프로그램을 기반으로 한 두 가지 이미징 모듈 인 Brightfield와 Darkfield가 장착되어 있습니다. 브라이트 필드 모듈은 결함 감지 및 리소그래피 최적화를 위해 브라이트 필드 조명을 사용하며, 자동 결함 검토를위한 초점 및 이미징 광학, 풀 필드 조명을 포함합니다. 이 장치의 어두운 필드는 습식 에치 애더 (wet etch adder), 브리징 (bridging), 치핑 (chipping) 과 같은 특정 결함을 감지 할 때 감도를 높이도록 설계되었습니다. 기계는 큰 마스크와 웨이퍼 (직경 6 인치) 를 최대 700 온도까지 처리 할 수 있습니다. TENCOR Archer 10 AIM + 는 고급 하드웨어 아키텍처를 사용하여 빠르고 효율적인 데이터 전송 및 이미지 처리를 지원합니다. 이 도구에 의해 수집된 이미지 데이터는 자산 자체에 저장되며, 기술자가 언제든지 이미지 데이터 (image data data) 를 검토하고 분석할 수 있습니다. 이 모델은 자동 결함 검토, 고급 데이터 분석 (Advanced Data Analysis), 고급 패턴 일치 (Advanced Pattern Matching) 등 다양한 기능과 기술을 제공합니다. 객체 어셈블리 및 결함 식별 툴을 통해 결함을 정확하게 찾아내고 분류할 수 있습니다 (영문). 또한, 장비는 결함 유형을 정량화하고, 프로세스 민감성을 파악하고, 결함 토폴로지 보고서를 생성하기 위해 결함 분석을 수행 할 수 있습니다. 정확성과 반복성을 보장하기 위해 아처 10 AIM + (Archer 10 AIM +) 는 광학 자동 초점 (optical autofocus) 을 특징으로하며, 이는 최적의 초점을 얻기 위해 샘플을 분석 한 다음 최고의 초점을 재설정하기 위해 샘플 진동 및 위치를 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 고온 환경에서 사용할 수 있는 높은 밝기 (Highly Brightness) 옵션과 장치 수명을 연장할 수 있는 저전력 (Low Power) 옵션을 제공합니다. 마지막으로, KLA/TENCOR Archer 10 AIM + 에는 쉽게 설치 및 프로그래밍할 수 있도록 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 실시간 오류 감지 및 수정 기능과 더불어 후처리 (post-processing) 알고리즘이 포함되어 있어 더욱 정확합니다. KLA Archer 10 AIM + 은 웨이퍼 및 마스크 제조업체가 최대 수율을 달성하고, 경제적인 방법으로 신뢰할 수 있는 품질의 데이터를 얻을 수 있도록 지원합니다.