판매용 중고 KLA / TENCOR 7200 #293828742
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KLA/TENCOR 7200은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 포토 마스크 또는 웨이퍼에서 레이어를 정확하게 검사하는 데 사용됩니다. 0.3 ~ 2.4mm 두께의 웨이퍼 (wafer) 에서 0.1äm의 해상도로 결함을 감지하는 고급 광학 검사 기술을 사용합니다. 따라서 고정밀도, 고성능 반도체 장치 및 MEMS 제작에 적합합니다. KLA 7200 시스템은 Red Skin 스테이지, 이미징 유닛, 패턴 인식 기계, 결함 검토 도구 등 여러 구성 요소로 구성됩니다. 레드 스킨 (Red Skin) 스테이지는 포토 마스크 및 웨이퍼를 모두 수용 할 수있는 반면, 광원, 광학 및 카메라로 구성된 이미징 에셋은 최대 해상도 0.1äm의 샘플 이미지를 캡처합니다. 그런 다음 패턴 인식 모델 (pattern recognition model) 은 알고리즘을 사용하여 모서리 및 구조 불규칙성을 감지하는 반면, 결함 검토 (defect review) 장비는 이미지 라이브러리를 저장하고 등각 및 불규칙성 결함을 검토합니다. TENCOR 7200 시스템은 다양한 샘플을 처리 할 수 있습니다. photomasks의 경우, 단위는 표면 결함, 선 너비 불규칙성 및 핀홀을 감지 할 수 있습니다. 웨이퍼의 경우, 패턴 일치 결함, 선 너비 불규칙, 입자 결함 등을 감지 할 수 있습니다. 또한 7200 은 향상된 소프트웨어 기능을 통해 데이터를 보다 쉽게 사용하고 처리할 수 있습니다. 이러한 기능에는 자동 웨이퍼 맵 정렬, 고급 실행/추적 분석 및 마스크없는 자동 초점이 포함됩니다. 전반적으로, KLA/TENCOR 7200은 다재다능하고 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 기계로, 표면 및 층 불규칙성을 매우 정밀하게 감지합니다. 첨단 광학 검사 기술 (Optical Inspection Technology), 종합적인 소프트웨어 기능, 효과적인 결함 검토 프로세스 (Defect Review Process) 를 결합한 결과, 제조업체는 다양한 구성 요소를 최대한의 정확도로 검사하려는 데 이상적인 선택이 가능합니다.
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