판매용 중고 KLA / TENCOR 3000P #293610009

KLA / TENCOR 3000P
ID: 293610009
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 3000P Mask and Wafer Inspection Equipment는 서브 미크론 수준에서 웨이퍼와 마스크를 결함하도록 설계된 자동 고급 이미징 시스템입니다. 이 장치는 반도체 생산 공정에서 품질 보증/품질 제어 (QA/QC) 에 적합하며 표면 결함, 선 너비 및 공간, 오버레이 오류, 누락 된 기능을 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 고해상도 디지털 카메라와 고급 이미징 소프트웨어 (Advanced Imaging Software) 를 활용하여 정확한 시야 도구 배치 및 레이아웃을 지원합니다. 클라이 3000P (KLA 3000P) 가 사용하는 이미징 소프트웨어는 각 검사에 대한 치수 기준점을 제공하며, 웨이퍼 맵의 임의의 위치에서 측정할 수 있습니다. 이를 통해 운영자는 추가 연산자 입력 없이 손쉽게 결함을 검사할 수 있습니다. 이 자산에는 다양한 분리 가능한 프로브 및 센서 (예: x-ray, optical 및 contact 검사) 가 장착되어 세부 전기 측정을 제공합니다. 또한 다중 사이트 (Multi-Site) 및 다중 평면 (Multi-Plane) 검사를 통해 마스크 및 웨이퍼의 패턴 오류를 보다 효율적으로 검사하고 식별하기 위해 여러 수준에서 실행 가능한 정보를 얻을 수 있습니다. TENCOR 3000P (TENCOR 3000P) 는 운영자가 잠재력을 최대화할 수 있도록 다양한 성능 매개변수로 설계되었습니다. 이러한 매개변수에는 이미지 확대 및 비닝, 스팟 노출 및 스팟 노출 수준이 포함됩니다. 또한, 이 모델의 자동화된 소프트웨어는 유연하고 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 한 번에 여러 가지 측정을 수행하고, 미크론 수준의 정확도에 접근하는 결함을 인식, 식별, 보고하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한, 3000P 장비에는 백업 이미지 아카이브 (backup image archive) 와 같은 여러 가지 안전 기능이 포함되어 있어, 운영자가 검사 과정에서 누락되었을 수 있는 결함을 즉시 찾아서 해결할 수 있으며, 간편한 탐색을 위한 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 를 제공합니다. 전반적으로, KLA/TENCOR 3000P는 필요한 응용 프로그램에 대한 정확하고, 세밀하고, 포괄적인 마스크 및 웨이퍼 검사를 제공하는 데 전념하는, 매우 신뢰할 수 있는 고급 시스템입니다. 강력한 디자인, 종합적인 기능, 신뢰할 수 있는 성능으로 인해 모든 반도체 생산 공정에서 매우 귀중하고 필수적인 부분을 차지할 수 있습니다.
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