판매용 중고 KLA / TENCOR 2835i EFEM #9230778

KLA/TENCOR 2835i EFEM은 고성능, 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고해상도, 고해상도, 정확한 결함 감지 기능을 제공합니다. 이 시스템은 기존의 현미경과 자동화된 현미경을 모두 능가하는 고급 검사 효율성 및 전례없는 수율을 제공합니다. 광학 (optics), 역학 (mechanics) 및 고급 이미지 처리 알고리즘의 최첨단 조합은 신뢰할 수 있고 정확한 결함 식별을 제공하며, 동시에 기존 방법에 비해 웨이퍼 처리 처리량을 10 배 증가시킵니다. KLA 2835i EFEM의 주요 특징은 다음과 같습니다. 높은 처리량 자동 검사, 20 개 이상의 웨이퍼 동시 스캔 기능, 원하는 각도의 조정 가능한 열 4 개, 시간당 최대 1200 개의 웨이퍼의 높은 듀티 사이클. 이 장치는 또한 최대 10um 해상도에 도달 할 수있는 빠른 3D Point of View (POV) 스캔뿐만 아니라 고배율 소비자 POV 응용 프로그램의 참조 이미지를 설정할 수 있습니다. 또한 2835i에는 미크론 스케일 입자 및 결함 특성을 평가하기위한 자동화 및 정확성을 제공하는 듀얼 카메라 머신 (dual-camera machine) 이 있습니다. 온보드 자동 EDM (E-Beam Defect Management) 툴을 통해 엔지니어는 웨이퍼를 신속하게 검사하고 이미지 파일에 직접 결함 기능 및 데이터를 추출할 수 있습니다. 이 자산은 또한 KLA 특허를받은 BNR (Background Noise Reduction) 기능을 통합하여 표면 및 결함 수준이 정확하여 웨이퍼 수율이 크게 향상됩니다. TENCOR 2835i EFEM 은 모든 고객 요구 사항을 충족하고 충족하도록 설계된 강력하고 혁신적인 검사 모델입니다. 이 장비의 탁월한 성능은 사용이 간편한 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 와 확장 가능한 시스템 구성 (Expandable System Configuration) 을 통해 보완되며, 사용자는 장치를 특정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 고급 이미지 처리 기능, 직관적인 사용자 인터페이스, 자동화된 결함 분석 기능을 갖춘 2835i EFEM은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 완벽한 도구입니다.