판매용 중고 KLA / TENCOR 2830 #9401094
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KLA/TENCOR 2830 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 하향식 실시간 웨이퍼 레벨 검사 및 결함 감지 어플리케이션을 위한 포괄적인 솔루션입니다. 이 시스템은 대규모 동적 범위 이미징 (dynamic range imaging) 과 작은 설치 공간을 결합하여 결함 사이트를 효율적으로 검토합니다. 이 장치는 미크론 (micron) 에서 서브 아이콘 (submicron) 까지의 기능을 포함하여 웨이퍼 구조의 동적 범위 및 입자 특성을 테스트하고 분석하기 위해 설계되었습니다. 또한, 기계는 브리징, 에칭 및 프로세스 특성과 같은 다른 중요한 웨이퍼 레벨 테스트에도 사용될 수 있습니다. KLA 2830 도구는 FEA (Field Emitters Array) 기술을 사용하여 최대 해상도 64um/픽셀의 고해상도 이미지를 제공합니다. 에셋은 또한 전체 영역 특성, 하향식 이미징, 입자 감지, 도량형 등 다양한 성능 옵션을 제공합니다. 또한, 이 모델은 고유 한 광 투과 기술을 사용하여 사진을 찍고 입자를 감지하여, 사용자가 0.2 um 정도의 작은 입자를 감지 할 수 있습니다. 또한 TENCOR 2830에는 자동화되고 향상된 테스트 기능을 사용자에게 제공하는 고급 소프트웨어가 포함되어 있습니다. Adaptive Data Separation 및 Collection 기능을 통해 데이터를 손쉽게 검토할 수 있습니다. 다른 주목할만한 소프트웨어 기능으로는 강력한 검색 엔진, 결함 분류 및 주석, 자세한 통계 데이터 분석, 시각보고 등이 있습니다. 사용자 친화적인 장비 작동과 강력한 성능을 위해, 2830 시스템은 직관적인 대화형 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있습니다. 이 인터페이스를 통해 사용자는 다양한 장치 설정을 검토하고 데이터를 신속하게 분석 할 수 있습니다. 또한 사용자는 '백업' 데이터뿐만 아니라 '설정 저장 및 리콜' 기능도 신속하게 제공합니다. KLA/TENCOR 2830 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴은 동급 최고의 정적/동적 측정 및 분석 기능을 제공합니다. 작은 설치 공간과 대형 다이내믹 레인지 (dynamic range) 는 대규모 생산 및 웨이퍼 검사를위한 이상적인 솔루션입니다. 또한 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 기능과 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 갖춘 이 제품은 웨이퍼 레벨 테스트 및 분석을 위한 강력하고 안정적인 툴입니다.
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