판매용 중고 KLA / TENCOR 2830 #9260081
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판매
ID: 9260081
빈티지: 2010
System
Module: EFEM
Includes:
YASKAWA XU-RCM9206 Robot
Pre-aligner: XU-ACP330-B10, ERCM-NS01-B003
Controller
2010 vintage.
KLA/TENCOR 2830은 반도체 웨이퍼의 특성을 측정하기 위해 설계된 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 결함, 도펀트 농도, 필름 두께, 곡물 경계, 저항성 및 기타 미세 구조 특성을 포함하여 웨이퍼 표면에서 미세한 특징을 감지 및 측정 할 수있는 고해상도 IR (Infra-red) 이미징 도구가 있습니다. 이 시스템의 자동화 소프트웨어는 테스트 결과를 빠르고 효율적으로 분석합니다. 컴퓨터 화 된 웨이퍼 처리 장치, 정밀도 및 속도 스캔 광학, 고급 분석 알고리즘이 장착되어 있습니다. 기계는 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 클라이 2830 (KLA 2830) 은 이미징 기술을 사용하여 웨이퍼 표면의 지형을 정확하게 측정하여 분석을위한 자세한 이미지를 생성합니다. 공구는 웨이퍼 범프, 피트 또는 기타 미시적 피쳐의 높이와 패턴을 정확하게 측정합니다. 또한 IR 스펙트럼 대역 (IR spectral band) 에서 지형의 광학 반사도 (optical reflectivity) 를 기록하여 장치 성능에 영향을 줄 수있는 단점을 식별하는 적절한 데이터 범위를 제공합니다. 자산의 자동화된 소프트웨어를 통해 wafer 테스트 데이터를 신속하게 수집, 검토, 분석할 수 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 스캔 영역 (scan area), 스팟 크기 (spot size), 샘플링 속도 (sampling rate) 와 같은 사용자정의 매개변수를 설정하여 원하는 세부 수준을 얻을 수 있습니다. 또한 Wafer 테스트 데이터를 저장하고 관리하는 편리한 방법을 제공합니다. 텐코 2830 (TENCOR 2830) 은 웨이퍼 표면에서 이미지와 미세한 기능을 식별할 수 있는 기능으로, 반도체 웨이퍼에 대한 고급 생산 테스트 및 전기 측정을위한 귀중한 도구입니다. 또한 웨이퍼 분석 및 결함 감지를 위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 그 결과, 이 모델은 반도체 업계에서 귀중한 자원이되었습니다.
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