판매용 중고 KLA / TENCOR 2810 #9178483
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ID: 9178483
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Inspection system, 12"
UI and PC:
(2) Monitors
Joystick
Keyboard
System Control Computer (SCC)
IMC Rack (RMPU): CRT 0 and 1
Optics and stage:
TDI0: (16) Daughter boards
Chuck, 12"
AMAC Stage controller
Stage shipping brackets
AF Plate
XTC Board cables
High mag camera
Pixel size: 35 nm / 50 nm
Load port and robot:
ASYST ISO Dual load ports
Pre-aligner
FEC Handler control computer
Line conditioner / Exhaust boxes
Includes:
EFEM
RMPU
Monitor and table
Power supply
Missing parts:
Track ball
(6) Hard Disk Drives
Middle blade center power supply
AMM of Middle and bottom blade center
TDI1 Assy
GALIL 1 and 2 boards
(6) Stage AMP boards
AMAC Cover
(4) Stage air regulators
YASKAWA Robot
2008 vintage.
KLA/TENCOR 2810 Mask & Wafer Inspection 장비는 반도체 웨이퍼, 레티클, 평면 패널, MEMS 및 기타 유형의 박막 재료의 결함을 감지하도록 설계된 고속, 고해상도 자동 광학 웨이퍼 및 마스크 검사 시스템입니다. 이 장치는 5 축 동작, 2 차원/3 차원 이미징 및 다양한 분석 및 검사 기능을 사용하여 품질 관리, 프로세스 제어 및 품질 보증을 제공합니다. 검사 머신은 다중 축 (multi-axis) 플랫폼에 내장되어 있으며, 모든 작동 축을 따라 고해상도 이미지 입수를 제공합니다. 이 도구는 5축 동작 기능과 가변 빔 각도 (variable beam angle) 선택을 사용하여 검사 대상의 모든 부분을 다룹니다. 가변 빔 각도 선택 (variable beam angle selection) 을 사용하면 웨이퍼나 마스크의 모든 부분이 결함을 찾기 위해 검사됩니다. 자산은 KLA IR Proximity 정렬 모델로 구동됩니다. 이 장비는 독점 소프트웨어 알고리즘을 사용하여 획득 한 이미지를 검사 중인 웨이퍼/마스크 (wafer/mask) 의 대상 형상에 정확하게 정렬합니다. 이렇게 하면 시스템에서 매우 작은 결함 및 그림자 (특히, 웨이퍼/마스크의 가장자리와 모서리 부근) 를 감지할 수 있습니다. KLA 2810은 뛰어난 결함 감지를 위해 2 차원 (2D) 및 3 차원 (3D) 이미징을 사용합니다. 이 장치는 고급 3D 이미징 기능 (3D Imaging Capability) 과 기능 인식 알고리즘 (Feature Recognition Algorithm) 을 통해 매우 정확한 지형 이미지로 무장하여 더욱 효과적인 결함 감지 및 분석 속도를 제공합니다. 이 기계는 입자 분석, 결함 특성 분석, 결함 검토 (defect review) 분류 등 다양한 결함 감지 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 감지된 결함이 정확하게 분석, 분류되어 적절한 조치를 취할 수 있습니다. 마지막으로, TENCOR 2810 은 고속 데이터 전송 기능을 제공하며, 이를 통해 고객에게 신속하게 평가하고 보고할 수 있습니다. 이 도구는 또한 완전 자동화 에셋 (asset) 을 갖추고 있어 운영자의 피로를 줄이고 결과의 정확성을 향상시킵니다. 전체적으로 2810 Mask & Wafer Inspection 모델은 반도체 웨이퍼, 레티클, 평면 패널, MEMS 및 박막 재료 검사를 위해 포괄적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 장비는 뛰어난 감도, 고속 이미징 (High-Speed Imaging), 자동화된 기능, 다양한 결함 감지 기능을 제공하여 웨이퍼와 마스크를 빠르고 정확하게 검사하는 강력한 도구입니다.
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