판매용 중고 KLA / TENCOR 2810 #9169784

KLA/TENCOR 2810은 결함 크리티컬 기능을 갖춘 포토 마스크 및 웨이퍼를 정교하고 자동으로 검사하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 이미징 성능, 고급 도량형 기능, 사용자 친화적 인 소프트웨어, 반도체 검사 및 검토의 까다로운 요구 사항에 맞는 솔루션을 제공합니다. KLA 2810 은 최신 하드웨어/소프트웨어 기술을 통합하여 안정적이고 반복 가능한 데이터를 제공하는 한편, 결함이 없는 시작 (start) 및 정확한 작동을 보장하는 정확한 포지셔닝 및 strobe 정렬 기능을 제공합니다. 이 장치는 설치 및 작동이 용이하며, 자동 측정 시스템, 광학 패턴 인식 (optical pattern recognition), 고급 결함 검토 (advanced defect review) 기능을 통해 가장 정교한 웨이퍼 설계를 빠르고 정확하게 확인할 수 있습니다. TENCOR 2810 의 5 축 구성에서는 모든 기본 구성 요소에 대한 액세스를 허용하며, 마스크를 정확하고 반복적으로 등록할 수 있습니다. 이 기계에는 이중 단계 양안 스테레오 (Binocular Stereo) 보기가 포함되어 있으며, 복잡한 구조와 기존 현미경에서 보기 어렵거나 불가능한 특징에 걸쳐 정확하고 반복 가능한 이미징이 가능합니다. 2810은 다크필드 (darkfield), 비스듬한 각도, KLA 특허를 획득한 LED 조명도구 등 최신 조명기술을 활용해 빛의 플레어를 줄이고 결함 가시성을 높였다. 온보드 스테퍼 패턴 인식 (On-board stepper pattern recognition) 알고리즘의 도움으로 넓은 영역을 신속하게 검사하고 파라 메트릭 결함의 위치를 확인할 수 있습니다. 또한, KLA/TENCOR 2810은 마스크의 감광 층을 검사 할 수 있으므로 거짓 검지를 줄일 수 있습니다. KLA 2810에는 TENCOR 결함 데이터 관리 소프트웨어 (TENCOR 결함 데이터 관리 소프트웨어) 를 포함한 포괄적인 소프트웨어 툴이 포함되어 있어 여러 소스에서 데이터를 분석, 검토할 수 있습니다. 이 자산에는 공동 작업 및 결함 검토를 위한 강력한 사용자 인터페이스도 있습니다. TENCOR 2810 마스크 및 웨이퍼 검사 모델은 혁신적인 디자인, 고급 이미징 기능, 다용도 소프트웨어 도구, 사용자 친화적 운영, 반도체 결함 검토 및 분석에 귀중한 도구입니다.