판매용 중고 KLA / TENCOR 2800 #9192128

KLA/TENCOR 2800은 결함 감지 및 입자 이미징을위한 정교한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 광학, 조명, 이미징, 소프트웨어 기술을 결합하여 정확한 결과를 제공하는 자동 시스템입니다. KLA 2800은 나노 미터 범위까지 입자 직경, 수, 크기 및 모양을 정확하게 측정 한 2 차원 또는 3 차원 이미지를 제공합니다. 이 장치는 검사 영역을 여러 하위 영역으로 나누고, 각 영역별로 결함을 검사합니다. 결함 인식 및 분류를위한 이미지 처리 알고리즘, 백라이트를 갖춘 고해상도 카메라 (Camera), 작고 큰 결함을 감지하는 경사 조명 기계, 정확한 샘플 처리 및 정밀한 적응형 비 균일 성 교정 (non-uniformity correction) 이 장착되어 있습니다. TENCOR 2800은 매우 고해상도 이미징 기능을 제공하며, 지형과 결함 형상을 모두 캡처할 수 있습니다. 또한 매우 민감한 광학 도구 (optics tool) 와 자동 칩 샘플 처리 시스템 (automated chip-sample handling system) 때문에 웨이퍼의 양면에서 동시에 입자를 감지 할 수 있습니다. 입자 크기와 모양을 측정하고 프로파일하고, 추가 분석을 위해 모양 매개변수를 컴파일합니다. 게다가, 그것 은 가시 광선 의 파장 의 일부 내 에 결함 의 "치수 '를 정확 하게 측정 할 수 있는, 빠른 결함 크기 조정" 알고리즘' 을 갖추고 있다. 처리된 이미지에는 색상 코드 오버레이 (color-coded overlay) 가 제공되어 결함의 정확한 위치와 심각도를 보여줍니다. 2800은 갱단 그래픽이 간편한 매우 직관적인 자산입니다. 이 제품은 빠르고 정확한 데이터를 제공할 수 있도록 설계되었으며, 플랫폼은 안정적으로 유지되도록 설계되었습니다. 전체 모델 자동화, At-line process Control System과 통합되어 프로세스 성능을 극대화합니다. KLA/TENCOR 2800을 사용하면 신속한 결함 데이터 획득 및 분석을 통해 효율성 및 수익률이 높아집니다. 고해상도 이미징은 작은 결함 및 입자 인공물 크기를 식별하는 자세한 기능을 제공합니다. 그 정확성과 반복 성 (repeatability) 은 수익률을 높이고 비용을 낮추는 결정을 내리기 위해 안정적인 측정을 보장합니다.