판매용 중고 KLA / TENCOR 2800 #9189035
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ID: 9189035
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 2007
Inspection systems, 8"-12"
1600pps Mercury
Image computer
Minimum pixel: 90nm
DUV 750mw Lamp
OS: Win2000 / DELL 2800
2007 vintage.
KLA/TENCOR 2800은 반도체 제조에 사용되는 포토 마스크 및 레티클의 정밀 광학 검사를위한 자동화된 고감도 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA 2800 시스템은 강력한 옵틱, 고급 이미지 처리 기술, 자동 검사 기술을 사용하여 결함, 입자, 오염 및 기타 불규칙성에 대한 레티클과 마스크를 빠르게 스캔합니다. 혁신적인 NIR 감지 기능을 통해 TENCOR 2800은 가장 작은 결함과 입자를 빠른 속도로, 그리고 높은 정밀도로 감지 할 수 있습니다. 2800에는 특허를받은 AP (Active Probe) 도구가 있습니다. AP (Active Probe) 도구는 장치가 더 작은 기능, 임베디드 재료, 솔더 조인트와 같은 매우 복잡한 영역을 검사할 수있는 고급 스캐닝 기술입니다. 이 기계에는 또한 STF (Self-Targeting Focus) 기능이 있으며, 이 피쳐는 선명한 이미지와 정확한 측정을 위해 기판 표면에 자동으로 중점을 둡니다. KLA/TENCOR 2800은 반도체 제조업체가 수율 및 제품 품질을 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 가짜 (bogus) 결함 통화를 방지하기 위해 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이 툴은 또한 빠르고 안정적인 E-beam 직접 쓰기 (direct write) 부품 배치 정확성과 추적 기능을 제공하여 보다 빠른 속도의 직접 쓰기 프로세스를 지원합니다. KLA 2800 은 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하며, 데이터 수집, 분석 및 보고 기능을 자동화합니다. 부품의 품질, 조건, 결함 이미지, 데이터 분석 테이블 등에 대한 사용자 정의 보고서를 생성할 수 있습니다. TENCOR 2800 은 광범위한 생산 환경에서 안정성이 입증되었으며, 최고 수준의 품질 검사 결과를 제공합니다. 현재 시장에서 가장 발전된 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 시스템 중 하나이며 반도체 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치 제조업체에 적합합니다.
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