판매용 중고 KLA / TENCOR 2800 #9155473

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ID: 9155473
Wafer defect bright field inspection system Currently de-installed.
KLA/TENCOR 2800은 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 나노미터 규모의 전자 제품 생산 제어 및 검증을위한 자동화된 통합 솔루션으로 개발된 클라이 2800 (KLA 2800) 은 효율적이고 다중 센서 결함 검사 어플리케이션 (multi-sensor defect inspection application) 및 fab 진단용으로 설계되었습니다. 이 시스템은 생산 프로세스 전반에 걸쳐 뛰어난 LER (line-edge roughness) 및 CD (critical dimension) 측정을 제공하며 빠르고 정확한 결과를 제공합니다. 이 장치는 현대 전자 제품 제조 공정의 엄격한 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. TENCOR 2800 웨이퍼 이미징 머신은 고급 솔리드 스테이트 레이저, 디지털 이미징, 고급 광 기술을 결합하여 제품 웨이퍼의 고품질, 고속 이미징을 제공합니다. 특허를 획득한 광학 설계를 이용한 이미징 (Imaging) 도구는 전례 없는 결함 감지, 해상도, 민감도, 속도 조합을 제공합니다. 2800의 LER 및 CD 측정 기능을 통해 큰 결함, 작은 입자, 오염, 패턴 모서리 및 임계 치수의 작은 변경 사항을 감지 할 수 있습니다. KLA/TENCOR 2800 검사 자산은 사전 예방적, 원격 및 데이터 기반, 신뢰할 수 있는 FAB 관리를 가능하게 합니다. 강력한 소프트웨어 (Software) 툴을 활용하면 보안 기능을 갖춘 단일 웹 사용자 인터페이스 (Web-Enabled User Interface) 를 통해 모델을 관리하고 모니터링할 수 있습니다. 따라서 결함 지표를 완벽하게 자동화하고, 정확하고, 빠르게 보고할 수 있으며, 시간 민감한 의사 결정을 위한 실시간 지표를 제공합니다. KLA 2800 의 통합 비행 추적 (flight-tracking) 장비는 사전 예방적 분석 및 예측을 가능하게 하여 프로세스 생산량을 극대화하는 데 필요한 수정/예방 조치를 가능하게 합니다. TENCOR 2800 시스템은 또한 높은 수준의 데이터 보안 및 개인 정보를 보장합니다. 2800 은 통합 암호화 장치 (Integrated Encryption Unit) 와 보안 사용자 인증 프로토콜 (Secure User Authentication Protocol) 을 활용하여 데이터 및 시스템 관리 작업을 안전하게 수행하고, 권한이 있는 직원에게만 액세스를 제한합니다. 전반적으로 KLA/TENCOR 2800은 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션을위한 고급 도구입니다. 강력한 구성, 멀티 센서 기능, 통합 소프트웨어 툴을 갖춘 KLA 2800 은 최적의 프로세스/소재 결과를, 정확하고, 신속하게 제공할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 비교할 수없는 보안과 개인 정보를 제공합니다.
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