판매용 중고 KLA / TENCOR 2800 #9117287

KLA/TENCOR 2800은 마이크로 칩 산업을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마이크로칩 (Microchip) 생산에 사용되는 반도체 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 의 집적 회로의 결함을 감지하기 위해 고급 옵틱과 자동 프로세싱의 조합을 사용합니다. 이 시스템은 웨이퍼 (Wafer) 및 패키지 (Package) 수준에서 마이크로칩 결함을 비파괴적으로 분석하여 높은 신뢰성 칩셋을 생산하는 데 필수적인 도구입니다. KLA 2800의 optics 장치는 4 개의 정렬 모듈로 구성되며, 2 개는 이미지 캡처 장치 역할을하고 2 개는 정렬 단위 역할을합니다. 4 개의 모듈 모두 광학-기계 정렬 기계와 함께 작동하여 정확한 측정을 얻습니다. 광학 시스템은 나노 미터 (nanometer) 에서 밀리미터 (mm) 까지 다양한 크기의 결함을 감지 할 수 있으며, 와퍼 다이 (wafer die) 에 대해 2 차원 영상을 광학적으로 수행 할 수 있습니다. 이 도구에는 또한 레이저 도플러 (Laser Doppler) 진동 감지 자산, 자동 분광계 (automated spectroscopic reflectometer) 및 자동 결함 감지 모델 (automated defect detection model) 을 포함한 여러 구성 요소로 구성된 포괄적 인 센서 패키지가 포함되어 있습니다. 레이저 도플러 (Laser Doppler) 진동 감지 장비는 웨이퍼의 고화질 이미지를 생성하고 고해상도 결함 감지를 위해 죽습니다. 자동 분광 반사계 (automated spectroscopic reflectometer) 는 웨이퍼 표면에서 결함의 존재를 나타낼 수있는 반사율 변화를 조사합니다. 자동화된 결함 감지 시스템 (Automated Defect Detection System) 은 라인 드롭 아웃 및 잘못된 정렬을 포함하여 칩 다이의 결함을 감지하도록 설계되었습니다. TENCOR 2800 은 여러 데이터 관리 및 소프트웨어 구성요소를 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 장치의 데이터를 사용자 정의하고 액세스할 수 있습니다. 소프트웨어 구성 요소를 사용하면 결함 데이터를 분석하고, 결함을 분류하고, 샘플링 속도를 설정하고, 기간별 재구성 정보를 액세스하고, 결함 보고서를 생성할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 여러 스토리지 위치와 액세스 가능한 데이터 입력 지점 (entry point) 을 갖춘 자동화된 데이터 스토리지 툴을 갖추고 있습니다. 또한, 2800 은 친환경 자산으로, 환경에 미치는 영향 및 에너지 사용량을 줄이기 위한 여러 가지 조치를 제공합니다. 이 모델은 European RoHS Directive와 호환되며 ISO 14001 환경 관리 장비에 따라 작동 할 수 있습니다. 이 시스템은 저전력 LED (Low-Power LED) 사용, 환기 감소, 소음 오염 감소 등의 에너지 절약 측정도 제공합니다. 전반적으로 KLA/TENCOR 2800은 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장치로, 칩 결함에 대한 정확하고 안정적인 분석을 제공합니다. 고급 옵틱 (optic) 과 자동화된 프로세싱 (automated processing), 종합적인 센서 패키지 및 강력한 소프트웨어 기능의 조합으로, 신뢰성이 높은 마이크로칩 생산에 귀중한 도구입니다.