판매용 중고 KLA / TENCOR 2608 #9396149

KLA / TENCOR 2608
ID: 9396149
Inspection system.
KLA/TENCOR 2608은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 매우 상세한 결함의 정확한 영상을 제공합니다. 이 시스템은 기술 노드 축소 단계에서 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 의 결함을 신속하게 감지하도록 설계되었습니다. KLA 2608에는 높은 정확도 스티칭, 비접촉 신호 분석, 실시간 결함 검토 등 최첨단 기술이 탑재되어 있습니다. TENCOR 2608의 스티칭 기능은 결함 감지에서 최고 수준의 정확도를 제공합니다. 스티칭 (stitching) 기술은 웨이퍼를 스캔하여 찍은 이미지에서 오정 (misalignment) 오류를 찾아서 픽업합니다. 비접촉 신호 분석 기능을 사용하면 수동 작업 없이 wafer topography 및 defect detection을 수행할 수 있습니다. 이는 검사 중 추가 검사 단계가 필요하지 않습니다. 또한, 비 접촉 신호 분석은 결함의 광학적 특성을 감지하여 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 품질 (mask quality) 에서 가장 작은 이상까지 감지합니다. 또한 2608 은 데이터 통합 오류를 방지하기 위한 자동 웨이퍼 식별을 제공합니다. 이 장치에는 조사 중인 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 식별하기 위해 해당 마스크의 데이터를 통합하는 지능형 소프트웨어 (Intelligent Software) 알고리즘이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 결함 이 정확 히 밝혀지고, 올바른 결함 정보 가 "머신 '에 저장 된다. KLA/TENCOR 2608의 실시간 결함 검토 기능을 통해 운영자는 검사 과정에서 결함을 자동으로 감지, 분류, 검토할 수 있습니다. 이 기능을 통해 운영자는 이 문제를 보다 쉽게 이해하고 신속하게 해결할 수 있습니다. KLA 2608은 짧은 생산 주기와 긴 생산 주기 환경 모두에 이상적입니다. 이 툴은 웨이퍼 (wafer) 당 최대 1,000 개의 이미지를 저장할 수 있으며, 이는 시장에서 가장 다양하고 강력한 자산입니다. 이 모델은 또한 사용자 정의 기능을 제공하여 사용자가 원하는 대로 사용자 정의할 수 있도록 합니다. 여기에는 특정 광학, 하드웨어 및 소프트웨어와 같은 측면이 포함됩니다. 전반적으로 TENCOR 2608은 효과적이고 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 이상적인 도구입니다. 첨단 기술과 기능을 통해 '미세한 결함' 을 감지하고 '품질' 을 보장할 수 있습니다. 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 모든 생산 또는 검사 설정에 이상적인 솔루션입니다.
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