판매용 중고 KLA / TENCOR 2438 Viper #293657990

ID: 293657990
웨이퍼 크기: 12"
Macro defect inspection system, 12" (3) Load ports Missing parts: Robot Controller.
KLA/TENCOR 2438 Viper는 최고의 광학, 기계, 이미지 분석 성능 표준을 충족하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 다양한 표준 마스크 크기를 커버하는 대형 뷰 (field of view) 와 고해상도 스트리밍 이미지 분석 (streaming image analysis) 기능을 제공합니다. KLA 2438 바이퍼 (Viper) 는 최첨단 이미징 기술을 최대한 활용하며, 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 최고 성능의 광 장치를 지원합니다. 이 기계는 최고 수준의 정확도, 반복 가능성, 처리량을 제공하는 대형 선형 갈보 (galvo) 단계를 기반으로합니다. 번역은 전체 처리량을 제공하기 위해 고급 동작 제어에 의해 제어됩니다. TENCOR 2438 Viper는 시야에 걸쳐 최적의 이미지 해상도를 보장하기 위해 8 존 (zone) 의 오명을 내도록 설계되었습니다. 스티그메이터는 불균일 한 광원으로 인한 수차를 수정하는 데 사용되는 광학 필터입니다. 또한 최고의 이미지 명암과 충실도를 보장하기 위해 통합 분광 그래프 (spectrograph) 와 다중 조명 조명기 (multi-light illuminator) 가 있습니다. 이 도구는 이미지 비교, 유효성 검사, 세분화를 위해 설계된 풀 컬러 이미징에 내장형 컬러 카메라를 사용합니다. 2438 바이퍼 (Viper) 는 최고 수준의 성능과 정확성을 위해 설계된 고급 광학 자산을 기반으로 구축되었습니다. 이 모델은 모듈식 (modular) 으로 확장 가능하며, 여러 구성에서 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 작업을 지원할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR 2438 Viper 는 마스크 및 웨이퍼 결함의 자동 감지 및 완화, 고급 신호 분석 패키지, 자동 데이터 아카이빙 및 검색 기능을 제공합니다. 이 장비에는 이미지 분석 (image analysis) 및 결함 감지 (defect detection) 를위한 전체 소프트웨어 패키지 및 프로그램도 포함되어 있습니다. 여기에는 결함 위치, 비교 및 측정을위한 프로그램별 프로그램이 포함됩니다. 마지막으로, KLA 2438 Viper 는 여러 이미지를 동시에 수집하는 등 데이터 관리를 위한 강력한 중앙 컴퓨터를 보유하고 있습니다. 결론적으로, TENCOR 2438 Viper는 고성능 광, 기계 및 이미지 분석을 위해 설계된 최고의 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 대형의 선형 갈보 (galvo) 스테이지와 강력한 중앙 컴퓨터로, 최고 수준의 정확성과 처리량을 제공합니다. 또한, 이 장치에는 결함 감지 및 이미지 비교를위한 전체 소프트웨어 프로그램이 포함되어 있습니다. 마지막으로 2438 바이퍼 (Viper) 는 다양한 검사 작업을 위해 설계된 모듈식 및 확장 가능한 기계입니다.
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