판매용 중고 KLA / TENCOR 2435 Viper #9399301

KLA/TENCOR 2435 Viper는 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 특별히 설계된 자동 광학 검사 장비입니다. 마스크, 크로스 웨이퍼 및 플랫 웨이퍼 패턴을 동시에 검사 할 수있는 독특한 3-in-1 디자인이 있습니다. 시스템은 2 개의 센서 헤드를 사용하여 웨이퍼의 위쪽과 아래쪽을 모두 이미지화할 수 있습니다. 보다 강력한 하단 헤드는 깊은 UV 레이저 노출을 제공하는 반면, 2 차 상단 헤드는 반사도와 색상에 중점을 둡니다. 장치의 고속 스캔 속도를 통해 10 초 이내에 8 인치 웨이퍼를 통과 할 수 있습니다. 내장형 디지털 고해상도 이미징 머신, 3D 재구성 기능, 고급형 이미지 관리 시스템 등을 통해 초당 최대 1 백만 개의 스팟을 캡처하고, 서브 마이크론 (sub-micron) 범위까지 결함을 감지할 수 있습니다. 스크래치, 모공, 입자 등 가장 작은 결함까지도 감지할 수 있는 고급 이미지 처리 (advanced image-processing) 알고리즘이 특징입니다. 게다가, 공구에는 정교한 웨이퍼 정렬 (wafer-alignment) 기능이 장착되어 있어 웨이퍼 표면에서 가장 약간 왜곡되기까지 할 수 있습니다. 또한 자산 자동화 (Asset Automation) 는 다양한 생산 단계를 지원하므로 오류를 최소화하고 처리량을 크게 늘릴 수 있습니다. 여기에는 통합 레시피 관리, 패턴 스티칭, 다이 정렬 및 주사위 맵 조정 도구가 포함됩니다. 또한 효율적인 비파괴 오버레이 (non-destructive overlay) 기능을 갖추고 있어 웨이퍼의 무결성을 파괴하지 않고 오버레이 정확도를 측정 할 수 있습니다. 이 모델은 광범위한 소프트웨어 도구 최적화에 의해 지원됩니다. 여기에는 결함 검토 소프트웨어, 웨이퍼 어댑터 소프트웨어, 정렬 소프트웨어, 다이 정렬 및 매핑 도구 (모두 마스크 및 웨이퍼 자동 생산에 기여함) 가 포함됩니다. 또한 상세한 결과, 제품 최적화 및 검증을 지원하는 고급 데이터 분석 툴 (advanced data analysis tools) 도 포함되어 있습니다. 결국 KLA 2435 바이퍼 (Viper) 는 탁월한 성능과 신뢰성을 제공하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 자동화된 기능을 통해 대용량 (high-volume) 과 고정밀 (high-precision) 생산 환경에 적합합니다. 첨단 "소프트웨어 '도구 들 과 더불어 가장 작은 결함 까지도 탐지 할 수 있는 능력 은" 반도체' 와 "반도체 '포장 산업 의 엄격 한 질 의 요구 조건 을 충족 시킬 수 있다.