판매용 중고 KLA / TENCOR 2435 Viper #293775231
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ID: 293775231
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Macro inspection system, 12"
Wafer transfer robot
(3) Loadports
2006 vintage.
KLA/TENCOR 2435 Viper는 마스크 및 반도체 웨이퍼에 존재하는 결함을 감지하고 특성화하도록 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 (High-Resolution Imaging) 기능과 고급 도량형 (Advanced Metrology) 기능을 결합하여 프로세스 제어와 품질 보증을 성공적으로 보장합니다. KLA 2435 Viper는 고급 레이저 기반 OCD (Optical Critical Dimension) 와 고급 검출기 기술을 결합하여 작동합니다. 레이저 인터페이스는 마스크 및 웨이퍼의 고해상도 이미지를 0.02um까지 정밀도로 제공합니다. 그 결과, 정밀도가 높아 가장 정확한 패턴 측정 및 분석이 가능합니다. 통합형 탐지기는 결함 다이 검사, 다크 필드 이미징 (dark-field imaging), 오염 탐지 (contamination detection) 와 같은 광범위한 검사를 허용합니다. 또한, 감도가 증가하여 TENCOR 2435 Viper는 표면 거칠기 도량형의 기능도 제공합니다. 2435 바이퍼 (Viper) 는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 제공하므로 장치의 기능과 설정에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한 모듈식 설계를 통해 쉽게 재구성할 수 있습니다. 따라서 Wafer, Mask Verification 등의 검사 사이를 빠르게 전환할 수 있습니다. 또한, KLA/TENCOR 2435 Viper는 ADR (Automated Defect Recognition) 시스템과 같은 다양한 소프트웨어를 지원하여 복잡한 패턴 또는 미세 피치 장치로 마스크 및 웨이퍼를 검사하는 사용자를 위한 향상된 감지 및 보고 기능을 지원합니다. 또한 CCO (Calibration and Calibration Offline) 모듈과 같은 다양한 고급 분석 도구도 함께 제공됩니다. 이 모듈은 고급 패턴 인식 기능 (Advanced pattern recognition) 을 제공하여 사용자가 마스크 또는 웨이퍼의 패턴을 자동으로 모니터링하고 지속적인 품질 제어를 보장할 수 있습니다. 요약하면, KLA 2435 Viper는 품질 관리 및 성공 효과를 향상시키기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 이 모델은 고해상도 이미징과 고급 도량형 기능, 직관적인 그래픽 인터페이스를 결합합니다. 또한, 이 장비는 다양한 고급 분석 도구를 지원하여 샘플을 미리 정의된 표준과 비교할 때 향상된 감지 (detection) 및 정확성 (accuracy) 을 제공합니다.
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