판매용 중고 KLA / TENCOR 2410 Viper #9206451

KLA/TENCOR 2410 Viper는 고성능 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 반도체 생산 산업의 석판화 기사 및 포장 엔지니어를 위해 설계된 바이퍼 (Viper) 는 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 및 레티클 레벨 마스크 검사를 위해 종합적인 물리적 결함 감지 및 인라인 프로세스 제어를 제공합니다. 바이퍼는 혁신적인 "DualVision" 광학 이미징 아키텍처를 사용하여 CD 및 패턴 검사 이미지 모두에서 0.5 미크론 해상도, 고감도 검사 및 0.2 미크론 오버레이 정확도를 제공합니다. 사용이 간편한 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 데이터 캡처, 분석, 보고 기능을 활용할 수 있습니다. 또한 Viper에는 특허를받은 "LIS (Laser Imaging System)" 가 포함되어 있어 설계 및 제조 단계에서 결함을 감지하여 다른 주요 마스크 검사 시스템보다 더 넓은 범위를 제공합니다. 바이퍼 (Viper) 는 통합 결함 검사 및 프로세스 제어가 가능하며, 내장 카메라 수준의 프로세스 제어와 고급 결함 분류 기능을 갖추고 있습니다. 또한 인랩 (in-fab) 생산도 지원하며 주기 시간은 5 분, 처리량은 자동화된 데이터 분석이 가능합니다. 고급 자동화 기능과 내장된 프로세스 제어 알고리즘을 통해 사용자는 프로세스 변경 사항을 신속하게 감지, 시각화, 측정할 수 있습니다. 또한 Viper에는 가장자리 또는 코너 검사를 빠르게 시작하거나 멈출 수있는 "Patterned Edge and Corner Trigger", 스티칭 및 재조정 중 여러 노출 영역을 정렬하는 "Multi Exposure Stitch" 기능, "Open Beam Inspection" 기술을 포함하여 여러 가지 고급 기능이 제공됩니다. 데스크톱없이 크기 검사. KLA 2410 Viper는 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 이상적인 솔루션입니다. 빠르고, 정확하고, 직관적이며, 포괄적인 결함 감지 및 프로세스 제어를 제공합니다. 고급 기능과 손쉬운 설치 기능을 갖춘 석판화 기술자 (lithographer) 와 포장 엔지니어 (packaging engineer) 를 위한 완벽한 시스템입니다.