판매용 중고 KLA / TENCOR 2410 Viper #9152918

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KLA / TENCOR 2410 Viper
판매
ID: 9152918
Macro defect inspection system.
KLA/TENCOR 2410 Viper는 자동 광검사 (AOI) 장비로, 웨이퍼 및 포토 마스크 표면에서 매우 작은 결함을 빠르고 정확하게 감지 및 측정할 수 있습니다. 최대 측면 길이 200mm의 웨이퍼 및 마스크를 검사하도록 설계되었습니다. KLA 2410 Viper는 두 가지 주요 구성 요소가있는 최첨단 VIS (Vision Inspection System) 입니다. 첫째는 광학 영상 장치 (Telecentric Optical Machine) 를 사용하여 최대 200mm의 광시야에서 브라이트필드 (brightfield) 및 다크필드 (darkfield) 이미지를 모두 캡처하는 광학 영상 장치다. 두 번째 구성 요소는 HPPP (High Performance Processor Platform) 로, 수많은 이미지를 처리하고 웨이퍼와 마스크에 존재할 수 있는 미묘한 결함을 감지하는 데 사용됩니다. TENCOR 2410 Viper는 ADR (Automated Defect Recognition) 도구를 사용하여 30nm까지 작은 기능을 감지 할 수 있습니다. ADR 자산은 알고리즘을 사용하여 빠르고 정확한 결함 식별을 허용합니다. 또한 피쳐를 10nm까지 측정할 수 있으며, 지름 및 선형 (linear) 결함 거리를 측정할 수 있습니다. 2410 바이퍼 (Viper) 는 소프트웨어를 활용하여 시각 모델을 제어, 조정하고 다양한 검사 작업을 수행할 때 복잡한 문제를 해결합니다. 사용자 친화적이며 실시간 운영자 장비와 같은 기능이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 사용하기 쉽고, 검사 프로세스의 운영 성능 및 생산성을 향상시키는 데 도움이 됩니다. KLA/TENCOR 2410 Viper는 감도가 높고 다양한 검사 기능을 갖추고 있습니다. 고속 프로세싱 덕분에, 사용 가능한 다른 유사한 시스템을 쉽게 능가합니다. 또한 다양한 외부 인터페이스 (예: 도량형 도구) 가 포함되어 있어 다른 장비 (예: 도량형 도구) 와 쉽게 호환됩니다. 전반적으로 KLA 2410 Viper는 뛰어난 광학, 강력한 패턴 매칭 알고리즘, 다양한 인터페이스 머신을 갖춘 안정적이고 강력한 AOI 장치입니다. 이 도구는 다양한 검사 (inspection) 작업에 대해 정확하고 안정적인 결과를 얻기 위해 사용할 수 있는 도구입니다.
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