판매용 중고 KLA / TENCOR 2410 Viper #9136881

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KLA / TENCOR 2410 Viper
판매
ID: 9136881
웨이퍼 크기: 8"-12"
Macro-defect inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR 2410 Viper는 마스크 및 웨이퍼 검사에 사용되는 고속 자동 기계입니다. 이 장비는 석판 마스크, 웨이퍼, 레티클의 광학 검사를 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. KLA 2410 Viper는 모듈식 플랫폼으로, 고객이 직접 구성할 수 있습니다. 강력한 이미징, 샘플 조작 및 포괄적 인 도량형 기능이 있습니다. TENCOR 2410 Viper 시스템은 최대 18 단계 샘플 스테이지와 함께 고정밀 자동 샘플 포지셔닝을 제공합니다. 또한, 고급 5축 XYZ 포지셔닝 장치가 포함되어 있어 정확하고 일관된 샘플 배치를 보장합니다. 이 기계는 또한 최대 8 메가 픽셀 (Megapixel) 의 고해상도 해상도를 갖춘 통합 이미징 도구를 갖추고 있어 매우 높은 수준의 디테일과 정확성을 제공합니다. 여기에는 다양한 각도에서 표본을 밝힐 수있는 320nm 고급 광원이 포함되어 있으며, 마스크, 웨이퍼, 레티클 등을 검사하는 데 이상적입니다. 2410 Viper에는 ADD (Automated Defect Detection) 기능도 있습니다. 이를 통해 자산은 최대 99.9% 의 정확도로 표본의 결함을 자동으로 감지하고 분류 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 각 유형의 샘플에 대한 검사 레시피를 사용자 정의할 수 있으며, 스크래치 (scratch), 사진 분석 오류 (photolithography error) 와 같은 복잡한 결함을 감지하고 분류 할 수도 있습니다. 이 모델은 외부 도량형 시스템과 통합되어 웨이퍼를 자동으로 3D 분석할 수 있습니다. KLA/TENCOR 2410 바이퍼 (Viper) 는 효율적이고 안정적인 설계를 고려하여 설계되었으며, 설치/다운타임을 최소화하면서 샘플을 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. 다른 주요 장비 (Major Equipment) 공급업체와의 완벽한 통합이 지원되므로 다른 시스템 및 시스템과 쉽게 설치, 통합할 수 있습니다. 또한 KLA 2410 바이퍼 (Viper) 는 사용이 간편한 사용자 인터페이스를 통해 운영자가 장비를 신속하게 설정하고 사용할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR 2410 Viper는 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계된 강력한 기계입니다. 석판 마스크, 웨이퍼, 레티클을 광학적으로 검사하는 데 이상적인 비용 효율적인 솔루션입니다. 모듈식 플랫폼, 강력한 이미징 기능, 자동 결함 감지 및 분류 기능이 있습니다. 마지막으로, 뛰어난 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있으며, 주요 장비 공급업체와의 완벽한 통합을 통해 시장에서 최고의 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 시스템 중 하나입니다.
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