판매용 중고 KLA / TENCOR 2410 Viper #293609537

ID: 293609537
Macro defect inspection system.
KLA/TENCOR 2410 Viper는 반도체 제작의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급, 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 탁월한 결함 감지 기능, 정확한 반복 가능성, 신뢰성, 비용 효율적인 처리량을 제공하는 통합형 솔루션입니다. KLA 2410 바이퍼 (Viper) 는 고급 전자 제품 및 옵틱을 사용하여 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 모든 계층과 장치 주변부의 여러 영역에 대한 고해상도 이미징을 제공합니다. 다양한 자동/수동 모드 (automated/manual mode) 를 통해 빠르고 정확한 결함 식별이 가능합니다. 이 장치는 안정성, 해상도, 처리량을 높이기 위해 향상된 설계 기능을 갖춘 opto-mechanical 플랫폼을 기반으로 제작되었습니다. 2410에는 고급 광학 현미경 스테이지와 고출력 동적 이미징 머신이 포함됩니다. 이 Optics는 고해상도 이미지를 얻기 위해 설계되었으며, 정확하고 반복 가능한 결과를 얻기 위해 최적화되었습니다. 2410의 고급 이미지 처리 기능을 통해 라인 엣지 거친 (line edge roughness), 접촉 인쇄 결함, 브리징 및 펑크 결함, 다각형 모서리 변위, 스크래치 등 다양한 결함을 신속하게 감지, 분류할 수 있습니다. 또한 작은 너비와 다각형 모서리 변위를 측정하는 센서를 제공합니다. TENCOR 2410 Viper는 다양한 검사 기술을 사용하여 완벽한 적용 범위와 정확성을 보장합니다. 여기에는 이미지 품질 교정이 적용되는 [카운팅 모드] 가 포함됩니다. 비교 모드 (comparing Mode) - 시야의 두 영역을 비교할 수 있습니다. 및 [설정 모드] 를 사용하여 정확한 위치 정렬을 보장할 수 있습니다. 2410 Viper는 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 탐색이 쉽고 사용자 경험을 향상시키는 한편, 프로그램 작업 설정 및 전체 보고 기능을 통해 작업을 효율적으로 수행할 수 있습니다. 온도가 제어되는 통합 광원도 이미지 선명도를 향상시킵니다. 전반적으로 KLA/TENCOR 2410 바이퍼는 효율적이고 비용 효율적인 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계되었습니다. 자동 (automated) 모드와 수동 (manual) 모드에서는 신속한 결함 식별이 가능하며, 고급 이미지 처리 기능에서는 정확한 에지 감지 및 전체 적용 범위를 사용할 수 있습니다. 사용자 친화적인 그래픽 인터페이스와 온도가 제어되는 통합 광원 (Light Source) 은 정확성과 사용 편의성을 보장합니다.
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