판매용 중고 KLA / TENCOR 2410 Viper #293592063

ID: 293592063
Macro defect inspection system Boards included Parts have been removed: Robot / Robot controller Vacuum reserve tank.
KLA/TENCOR 2410 Viper는 생산 정확성과 품질을 극대화하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 자동화된 인라인 (In-Line) 웨이퍼 검사 시스템으로, 장치 계층을 경제적으로 검사하여 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 및 결함 분석 기능을 제공합니다. KLA 2410 바이퍼 (Viper) 는 중요한 결함의 존재 여부와 부재를 파악하여 규격 외 부품을 신속하게 거부할 수 있습니다. 이 장치는 탁월한 이미지 구입 해상도, 고속 이미지 캡처, 자동 이미지 캡처, 처리, 반복 가능한 결과를 제공합니다. TENCOR 2410 Viper에는 2 개의 자외선 목표 렌즈, 4 개의 통신 렌즈, CCD 카메라 및 3 개의 레이저 라인으로 구성된 최첨단 광학 머신이 장착되어 있습니다. 스캐닝 전자 빔 (scanning electron beam) 기술을 통해 2410은 0.5 미크론까지 해상도를 통해 나노 미터에 대한 정확한 이미징 기능을 허용합니다. 이 도구에는 이미지 캡처를위한 세 개의 레이저 선 (광학 문자 인식, 결함 감지 및 윤곽선 검사) 이 있습니다. OCR 라인은 백라이트 된 이미지를 통해 오버레이를 식별하고 평가 할 수있는 반면, 0.5 µm 이미징은 6 µm 정도의 작은 읽기 기능을 허용합니다. 결함 탐지 (Defect Detection) 라인은 결함을 식별하고 2 유도 m 정도의 크기에 사용되는 고해상도 라인입니다. 컨투어 스캐닝 (Contour Scanning) 라인은 오버레이 정밀도 측정을 지원하며 모든 다이 결함에 대한 2D 뷰를 제공하는 데 사용됩니다. 2410 바이퍼 (Viper) 는 또한 수동 보정이 필요 없이 하나의 도구에서 100 개의 시야에 대한 자동 추가 및 참조를 자랑합니다. 또한 자동 결함 분류 (automated defect classification), 이미지 클러스터링 (image clustering) 및 프레임 비교 (frame to frame comparison) 기능을 통해 연속 이미지에서 동일한 결함을 확인할 수 있습니다. KLA/TENCOR 2410 바이퍼 (Viper) 는 많은 웨이퍼 그룹에서도 신속하고 반복 가능한 결과를 제공하여 빠른 처리 속도와 최소 다운타임을 보장합니다. 또한, KLA 특허 웨이퍼 검사 알고리즘은 정확성을 향상시키고, 위험을 해결하며, 장치 수익률 손실을 줄입니다. 정확하고 반복 가능한 결과를 결합함으로써, KLA 2410 Viper는 현대의 고밀도 반도체 칩을 검사하기에 이상적인 자산입니다.
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