판매용 중고 KLA / TENCOR 2401 #293774190

KLA/TENCOR 2401은 정교하고 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 모듈식 설계를 사용하여 다중 마스크, 웨이퍼, 자동 웨이퍼 처리를 통해 단일 마스크 또는 웨이퍼를 대량으로 검사할 수 있습니다. 최대 해상도 6.5um, 초고속 (Ultra Fast) 검사 속도, 이중화 (Redundancy) 기능을 제공하여 기존 시스템보다 훨씬 빠른 결함을 파악하고 구별할 수 있습니다. KLA 2401은 고급 디지털 웨이퍼 이미징 (advanced digital wafer imaging) 을 활용하여 탁월한 정확도와 속도로 결함을 파악하고 찾습니다. 이 장치에는 브라이트필드 (brightfield), 다크필드 (darkfield) 및 편광 이미징 (polarization imaging) 이 장착되어 있으며, 고급 이미징 및 처리 알고리즘과 연계되어 뛰어난 신뢰성과 정확성으로 세밀한 세부 사항에 대한 향상된 검사 뷰를 제공합니다. 마스크 검사 기능의 일환으로 TENCOR 2401은 UV LED 조명을 제공하여 사용자가 민감한 패턴 마스크 레이어의 결함을 감지 할 수 있습니다. 머신은 또한 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 레이어 또는 서브레이어에서 패턴 변형을 검사하는 독점 피쳐 파인더 (feature finder) 알고리즘을 사용하여 범프, 미립자, 라인 너비 문제 등 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 정상적인 시각적 검사에서 눈에 띄지 않는 작은 결함을 식별 할 수 있습니다. 2401의 스마트 옵틱 및 포커스 툴은이 마스크 및 웨이퍼 검사 자산의 성능을 크게 향상시킵니다. 모델의 자동 초점 기능 (auto-focus feature) 은 정교한 알고리즘을 활용하여 패턴 레이어를 지속적으로 검사하고, 수동 조정을 낮추고, 시간을 절약할 수 있도록 포커스를 빠르고 정확하게 조정합니다. KLA/TENCOR 2401은 또한 고급 검토 및 분석 소프트웨어를 갖추고 있으며, 가장 정확한 결함 감지 및 특성화에 대한 고속 객체 분석을 제공합니다. 이 소프트웨어는 종합적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 자동화된 일상적인 스크립트, 강력한 정렬 기능, 강력한 통계 등을 통해 데이터를 빠르고 정확하게 분석할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어는 개방형 아키텍처를 통해 사용자가 루틴 및 데이터 분석을 사용자 정의할 수 있습니다. 첨단 기능과 고성능 KLA 2401 은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 탁월한 수준의 정확성, 안정성, 속도를 제공합니다. 이 장비의 디지털 이미징 (digital imaging), 스마트 옵틱 (smart optics), 강력한 분석 및 검토 소프트웨어는 정확한 결함 감지를 보장하고 빠르고 효율적인 마스크 및 웨이퍼 생산을 지원합니다. 따라서, TENCOR 2401은 전 세계 반도체 제조업체의 품질 관리 부서 및 생산 라인에 이상적인 선택입니다.