판매용 중고 KLA / TENCOR 2401 Viper #9195297

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ID: 9195297
웨이퍼 크기: 4"-8"
빈티지: 2000
Wafer inspection system, 4"-8" Cassette to cassette system Compatible wafer carriers: 4, 5, 6, 8 (2) Cassette ports Unit set up: 8" Optical measurement unit Operating system: Windows NT Throughput: 85 W / H Wafer mapping Double discharge lamp: Wafer illumination Particles and scratches macro inspection: > 50 microns Instant pictures: 1 KB x 1 KB with 2 linear CCDs Stage moving: Y Axis 2000 vintage.
KLA/TENCOR 2401 바이퍼 (Viper) 는 정확성과 신뢰성이 높은 패턴 결함을 감지하도록 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 샘플의 표면을 분석하는 데 사용되는 두 개의 스캐닝 레이저 (scanning laser) 로 구성됩니다. 이 프로세스를 결함 검토라고 합니다. 이 장치는 "지각" 이라는 고유 한 2 개의 레이저 기계를 사용하여 결함을 정확하게 식별합니다. 이 도구는 두 개의 독립적 인 스캐닝 레이저 (scanning laser) 를 사용하여 서로 다른 각도에서 결함 검토 정보를 동시에 수집합니다. 이를 통해 샘플을 검사하는 데 필요한 시간을 줄이고, 결과의 정확도를 높일 수 있습니다 (영문). 또한, 자산에는 기존 방법으로 감지하기 어려운 이상을 감지 할 수있는 고급 알고리즘 (advanced algorithms) 이 포함되어 있습니다. KLA 2401 Viper 의 이미징 기능을 사용하면 통합 사용자 인터페이스에 표시되는 샘플 이미지를 신속하게 검토할 수 있습니다 (영문). 이미지 해상도는 결함 복구, 결함 격리, 통과/실패, 정렬 등 검사 프로세스의 다양한 단계에 대해 다양한 설정으로 선택할 수 있습니다. 모델은 또한 고정밀도 광학 단계를 사용하여 웨이퍼 또는 마스크 샘플을 3 축 방향으로 정확하게 이동합니다. 따라서 전체 프로세스를 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 통합된 교정 소프트웨어를 사용하면 장비 전체에서 일관된 검색 매개변수를 유지할 수 있습니다. 또한, 시스템에는 바코드 리더기 (Bar Code Reader) 가 장착되어 있어 검사 데이터를 빠르고 정확하게 기록할 수 있습니다. 마지막으로, TENCOR 2401 Viper 의 소프트웨어 패키지는 Wafer 및 Mask 를 검사할 때 가장 높은 수준의 안정성과 정확성을 보장하는 포괄적인 기능을 제공합니다. 이러한 기능에는 이미지 검토 도구, 결함 식별 및 위치 도구, 자동 사용자 안내서, 포괄적인 데이터/결함 보고, 손쉽게 데이터를 백업하고 저장할 수 있는 도구 등이 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 2401 Viper는 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 작업에 이상적인 선택이 됩니다.
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