판매용 중고 KLA / TENCOR 2401 Viper #9186868

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ID: 9186868
Macro-defect inspection system.
KLA/TENCOR 2401 Viper는 포괄적인 결함 감지 기능을 제공하도록 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. 반도체 제조 공정에서 마스크, 웨이퍼, 다이 표면에서 결함 또는 오염 물질을 검사하는 데 사용됩니다. KLA 2401 Viper는 고급 패턴 인식 알고리즘과 광학을 사용하여 이미지 결함을 감지하고 분류합니다. 고해상도 컬러 CCD 카메라, 편광 모듈, 화이트 라이트 LED 조명기 (White-Light LED Illuminator) 를 장착하여 검사된 마스크 또는 웨이퍼 이미지를 캡처하고 분석합니다. 또한 TENCOR 2401 바이퍼 (Viper) 에는 마스크 또는 웨이퍼를 검사 구역 안팎으로 이동하기 위한 자동 단계가 포함되어 있습니다. 2401 Viper는 소음이 매우 적은 성능으로 고속 생산 수준 검사를 제공합니다. 시간당 최대 60 개의 웨이퍼로 작동 할 수 있으며, 1 미크론까지 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. KLA/TENCOR 2401 Viper는 넓은 영역과 높은 종횡비를 검사하여 웨이퍼-마스크 호환성을 높일 수 있습니다. KLA 2401 Viper의 사용자 친화적 인 인터페이스에는 모든 기능이 포함된 텍스트, 그래픽 및 사운드 경보가 포함되어 있어 감지된 이상을 나타냅니다. 또한 온보드 (on-board) 필터 라이브러리와 스캔 매개변수 (scan parameters) 를 통합하여 시스템 성능을 최적화합니다. 라이브러리는 웨이퍼 모서리 (wafer edges) 또는 레티클 격자 (reticle grid) 에 서로 다른 샘플링 점을 수용하도록 구성할 수 있으며, 이를 통해 수율과 처리량을 최대화할 수 있습니다. TENCOR 2401 바이퍼 (Viper) 는 또한 외래 입자에서 공허 또는 구덩이에 이르기까지 광범위한 결함 유형을 감지 할 수있는 올인원 감지 기술을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 자동 (automated) 및 수동 (manual) 검사를 모두 결합하여 정확한 결함 선택 및 분류를 지원합니다. 이 시스템은 백그라운드 매칭 알고리즘으로 사전 프로그래밍되어 저강도 (low intensity) 또는 저확률 (low probability) 이상을 필터링할 수 있습니다. 2401 바이퍼 (Viper) 는 작은 이상을 감지하고, 운영 비용을 절감하고, 수익률을 최적화하도록 설계된 효과적이고 안정적인 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. KLA/TENCOR 2401 바이퍼 (Viper) 는 고속 및 고급 결함 분류 기능을 통해 향상된 처리량을 제공하며, 검사 과정에서 사용자에게 정확한 지능을 제공합니다.
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