판매용 중고 KLA / TENCOR 2401 Viper #9176353

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ID: 9176353
빈티지: 2001
Macro-defect inspection system Currently stored in cleanroom 2001 vintage.
KLA/TENCOR 2401 Viper는 마스크 및 웨이퍼 생산에 대한 서브 미크론 입자, 결함 및 기타 품질 문제를 감지하는 데 사용되는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 마스크 및 웨이퍼 샘플을 비추는 쿼츠 할로겐 광원 (quartz halogen light source) 을 사용하여 작동하며, 통신 광학 시스템을 사용하여 고해상도 이미지를 캡처합니다. KLA 2401 바이퍼 (Viper) 에는 독점 알고리즘을 사용하여 높은 정확도와 신뢰성을 가진 입자와 결함을 찾는 임베디드 SENTry 기술이 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 강력한 소프트웨어 툴 (Software Tools) 이 장착되어 있어 여러 광학 구성을 쉽게 전환할 수 있으며, 이를 통해 여러 위치에서 다양한 표면 및 미세 구조 (micructural) 기능을 한 곳에서 분석할 수 있습니다. 광학 경로 (Optical Path) 및 확대/축소 (Zoom) 설정을 독립적으로 제어하는 기능과 같은 추가 기능을 통해 샘플의 특정 영역에 대한 대비를 강화하고 상세한 모니터링을 수행할 수 있습니다. TENCOR 2401 바이퍼 (TENCOR 2401 Viper) 는 입자 및 결함 분석 외에도 마스크 및 웨이퍼 샘플의 다양한 기능을 측정 할 수 있습니다. 저조도 자동 초점 (Low-light auto-focus) 기능은 고대비 이미지를 생성하여 미크론 (sub-micron) 정밀도로 임계 샘플 치수를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 기능은 또한 개체 변위 (object displacement) 또는 일관되지 않은 샘플 서피스 (sample surface) 로 인한 허위 양성 (false-positive) 가능성을 줄이는 데 도움이됩니다. 2401 Viper는 마스크 및 웨이퍼 생산에 대한 반복 가능성, 안정성 및 향상된 처리량을 제공합니다. 직관적이고 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 는 강력한 소프트웨어, 하드웨어 기능과 더불어 광범위한 운영 시설에 대한 귀중한 검사 솔루션입니다.
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