판매용 중고 KLA / TENCOR 2401 Viper #9160676

KLA/TENCOR 2401 Viper는 집적 회로 장치의 제조 과정에서 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학, 조명, 이미지 처리 기술을 활용하여 현재 사용 가능한 최고 해상도, 최고 속도, 가장 안정적인 분석을 제공합니다. 이 장치는 강력한 이미징 엔진, 고해상도 이미징 어레이 및 S2535 Motion Control Machine으로 구성됩니다. 이미징 엔진에는 UV-VIS-IR 범위의 감도가 향상된 특수 광학이있는 16 메가 픽셀 CCD 카메라가 있습니다. 이를 통해 KLA 2401 Viper는 스크래치, 스크래치, 오염 물질, 잔류 물 및 입자와 같은 가장 작은 결함을 캡처하고 검사 할 수 있습니다. 고해상도 이미징 어레이는 최대 8 메가픽셀로 구성되며, 비스티치 솔루션에 비해 최대 8 배의 해상도를 제공합니다. 또한 높은 동적 범위로 감지 정확도를 높입니다. S2535 모션 컨트롤 도구 (Motion Control Tool) 에는 x, y 및 z 축에서 정확하고 반복 가능한 이동이 가능한 모션 피드백 에셋이 장착되어 있습니다. 이를 통해 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 표면에 대한 광학의 초점과 상대 위치를 최적으로 설정할 수 있습니다. TENCOR 2401 Viper에는 검사, 분석 및 보고를위한 다양한 소프트웨어 도구가 있습니다. 특허받은 Smart Imaging Analysis 기술을 사용하여 빠르고 안정적이며 반복 가능한 분석을 제공합니다. 또한 패턴 인식 기술을 사용하여 결함을 식별합니다. 이는 잘못된 양성을 줄이고, 기존 검사 방법과 비교할 때 더 높은 처리량을 허용합니다. 외부 데이터베이스 및 파일 시스템에도 접속할 수 있어 데이터 관리 및 추적 (Traceability) 기능을 제공합니다. 2401 바이퍼 (Viper) 는 고해상도, 높은 처리량, 마스크 및 웨이퍼 검사에 높은 정확도를 요구하는 반도체 제조업체에 적합합니다. 결함 검사, 입자 분석, 도량형 (metrology), 수율 향상 (yield enhancement) 및 기타 프로세스 제어 요구와 같은 다양한 응용 프로그램에 사용됩니다. KLA/TENCOR 2401 Viper 는 제조 프로세스에 쉽게 통합되며 기존 자동화 시스템에 연결할 수 있습니다. 또한 다양한 액세서리 (accessory) 와 옵션 (option) 을 제공하므로 특정 요구 사항에 맞게 모델을 사용자 정의할 수 있습니다.