판매용 중고 KLA / TENCOR 2401 Viper #9074146

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ID: 9074146
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Macro-defect inspection system, 8" Handler type: Autoloader with single end effector Loadport: (2) 8" Open cassette Operating system: Windows NT 4.0 No signal tower Light handling Camera: Dark & bright camera GEM / SECS Defect sensitivity: 50um Pattern pitch: Min 0.15mm, max 50um Throughput: 110 Wafers/hr Computer configuration: CPU: Pentium III MMX 550MHz RAM: 800M Hand drive disk: 18G & 9G Monitor CD-ROM / Floppy Jaz Digital printer Facilities: Input power: 100VAC +/-10%, 50/60Hz @8A Input vacuum: 534-610mmHg Input VCDA: 50-60psi (42 kg/cm2) Exhaust flow: 200 CMF 2000 vintage.
KLA/TENCOR 2401 Viper는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 경쟁 가격에 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 시스템은 5 개의 채널로 구성된 광학 이미징 장치를 사용하며, 그 중 4 개는 그래픽 처리 기능을 포함하며, 각 채널에는 스펙트럼 필터링 렌즈와 정밀 기계 구성 요소가 포함되어 있습니다. 이 기계는 초당 최대 25 프레임의 빠른 속도로 동적으로 초점을 맞춘 고해상도 이미지를 생성합니다. 획득한 이미지 데이터는 고급 알고리즘과 소프트웨어를 사용하여 빠르고 정확하게 저장, 분석됩니다. 이 공구는 선 너비, 선 형상, 결함 유형을 식별할 수 있으며, 한 이미지 (Image) 에서 다음 이미지 (exposure) 로 피쳐 변경을 결정합니다. 바이퍼 (Viper) 는 광대역 조명을위한 광대역 조명을위한 여러 레이저 소스를 포함하는 광원을 특징으로하며, 이미지 획득에 광범위한 색상을 사용할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 칩 및 회로 패턴을 쉽게 탐색 할 수있는 동적 경로 관리 (dynamic path management) 모델이 있습니다. 바이퍼 (Viper) 는 개별 웨이퍼마다 광학을 정렬하고 조정할 수 있는 고정밀 (high-precision) 광학 포지셔닝 장비를 갖추고 있습니다. 이를 통해 정확한 이미지 캡처 및 분석이 가능합니다. 이 시스템은 또한 환자 추적 장치 (Expatient Tracking Unit) 를 내장하고 있으며, 일관성과 정확성으로 시간이 지남에 따라 큰 샘플 크기를 검사하는 데 매우 유용합니다. 기계는 또한 온도 조절 챔버 (temper-controlled chamber) 를 장착하여 샘플 검사 및 분석 전반에 걸쳐 온도와 습도의 안정성을 보장합니다. KLA 2401 Viper Mask and Wafer Inspection Tool은 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템의 업계 리더입니다. 정확도, 속도, 가격은 실험실 및 전자 전문가 모두에게 큰 가치를 제공합니다. 아트 이미지 획득 및 처리 능력, 결함 감지 (defect detection) 및 기능 변경 분석 (feature change analysis) 을 통해 Viper는 반도체 제조 및 검사 산업에서 귀중한 도구입니다.
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