판매용 중고 KLA / TENCOR 2370 #9083809

KLA/TENCOR 2370 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 마스크 및 웨이퍼 제조업체에게 귀중한 도구입니다. 이 시스템은 고급 광학 기술 (Optical Technology), 이미지 비교 (Image Comparison) 및 패턴 인식 (Pattern Recognition) 을 활용하여 결함을 파악하고 웨이퍼 이미지를 정확하게 검사하여 기능을 제공합니다. 이 장치는 1 ~ 12 인치 크기의 포토 마스크, 웨이퍼 등 다양한 기판을 검사하도록 설계되었습니다. 고해상도 CCD 카메라와 강력한 LED 조명기 (LED illumination machine) 를 갖춘 스캔 헤드를 활용하여 정확하고 선명하게 이미지를 캡처합니다. 그런 다음, 결함이 있음을 감지하고 이미지를 참조 데이터베이스와 비교하는 정교한 소프트웨어 (SW) 알고리즘을 사용하여 이미지를 분석합니다. 이렇게 하면 웨이퍼 이미지와 photomask 이미지를 보다 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. 이 도구에는 통합 자동 도량형 및 CD/NSL 측정 기능도 있습니다. 이렇게 하면 입자, 선 모서리, 선 너비 거칠기, 중첩된 선, 격리된 선을 감지할 수 있습니다. 이를 통해 마스크 및 웨이퍼 제조업체는 자사의 제품이 정확성과 기능에 대한 업계 표준을 충족하도록 보장합니다. 또한, KLA 2370에는 강력한 에지 검출 엔진 (edge detection engine) 이 있어 기판의 정밀한 정렬 및 결함 검출의 정확성 향상. 이를 통해 수익률을 높이고 스크랩과 관련된 비용을 절감할 수 있습니다. 자산은 또한 자동화된 비전 (vision) 카메라를 사용하여 최대 4 개의 위치에서 대상을 선택하여 한 번에 여러 기판을 검사 할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR 2370은 마스크 및 웨이퍼 제조업체를위한 귀중한 도구 세트를 제공합니다. 고정밀도 이미지 캡처 및 자동 도량형은 기판을 철저하고 정확하게 검사하는 데 도움이 됩니다. 또한 자동화된 비전 카메라, 강력한 에지 감지 (edge detection) 및 다중 기판 스캐닝 (multiple substrate scanning) 기능을 통해 수율 손실을 최소화하면서 높은 처리량을 생산할 수 있습니다.