판매용 중고 KLA / TENCOR 2367 #9293245

KLA/TENCOR 2367 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 반도체 제조 공정을 빠르고 정확하게 분석하도록 설계된 고급 자동 웨이퍼 및 마스크 검사 시스템입니다. 전자동 (Fully Automated) 및 통합 기기, 소프트웨어, 광학 장치를 활용하여 기존 검사 방식보다 정확성과 속도가 빠른 반도체 웨이퍼의 시각 및 도량형 결함을 감지합니다. KLA 2367 검사기에는 고해상도 웨이퍼 개요 카메라, AOP (Automatic Optical Positioning), 패턴 및 결함 인식 도구 등의 고급 기능이 장착되어 있습니다. 풀 필드 이미징 서브시스템은 옵티컬 빔 스플리터 (optical beam splitter) 와 CCD 카메라를 사용하여 카메라 왜곡을 최소화하면서 뛰어난 이미지 해상도와 패턴 인식 기능을 제공합니다. 이를 통해 기존 검사 기술보다 더 빠르고 쉽게 결함을 감지할 수 있습니다 (영문). TENCOR 2367의 강력한 AOP 기능을 사용하면 목표 위치의 0.25m에서 매우 정확한 기판 정렬이 가능합니다. 또한, 도구는 결함 인식 알고리즘 (defect recognition algorithms) 과 이미지 처리 (image processing) 를 사용하여 다양한 유형의 결함을 식별할 수 있습니다. 패턴 인식 도구 (pattern recognition tools) 를 사용하면 자산이 다른 패턴 (예: 기존 검사 방법을 통해 감지되지 않은 결함) 에 따라 결함을 감지할 수 있습니다. 이 모델은 또한 중요한 피쳐의 측정 및 분석 (예: 이웃 피쳐 간의 기하학적 거리, 의도된 모양으로부터의 변화, 여러 관점 또는 관점의 장치 피쳐 간 거리) 을 제공합니다. 보다 자세한 분석을 수행하기 위해 2367 은 정확하고 정확한 측정을위한 기능이있는 고급 도량형 (Advanced Metrology) 패키지를 제공합니다. 장비의 정량적 분석 도구를 사용하면 결함 추적 및 평가, 기능/구조 특성화가 가능합니다. 또한, 이 시스템은 피쳐 크기 (feature size) 와 형태 (shape) 변화를 극도로 정확하게 감지할 수 있는 피쳐 분석 도구를 제공합니다. 전반적으로, KLA/TENCOR 2367 마스크 및 웨이퍼 검사 장치는 반도체 제조업체의 소유 비용 절감, 수익성 증대에 도움이 되는 강력한 자동 검사 기계입니다. 이 도구의 고급 기능 (advanced features) 과 강력한 분석 도구 (powerful analysis tools) 는 뛰어난 정확도와 정확도를 제공하면서 더욱 빠르고 쉽게 결함을 감지할 수 있습니다. 이러한 방식으로 KLA 2367은 반도체 제조 공정에서 품질 제어를 보장합니다.