판매용 중고 KLA / TENCOR 2367 #9276696

KLA/TENCOR 2367은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 다이 및 기판의 정확한 광학 검사를 위해 특별히 설계되었습니다. 클라 2367 (KLA 2367) 은 결함의 기판을 상세하고, 포괄적이며, 정확하게 검사하는 한편, 많은 응용 프로그램에 대해 극단적인 수준의 반복성과 유연성을 제공합니다. 이 시스템에는 고해상도 검사를 위해 5MP 스퍼터 코팅 된 과학 등급 CCD 카메라가 장착되어 있습니다. 카메라의 시야는 25.4/17.6mm이며 5, 2.5, 1.25 미크론/픽셀의 선택 가능한 이미징 해상도와 1 미크론/픽셀 전송 모드 기능을 제공합니다. 또한 TENCOR 2367은 미세한 기능과 형상을 검사할 때 이미징 왜곡을 방지하는 독점 CMOS 센서 기술을 갖추고 있습니다. 이것은 뛰어난 반복성을 제공하는 특허 교정 프리 기법으로 활성화됩니다. 2367의 특허 정렬 기술은이 장치가 매우 정확한 검사 결과를 제공 할 수 있습니다. 검사 과정의 각 단계 동안, 테스트 중인 샘플은 고유한 인코딩 메커니즘을 통해 검사 격자 (inspection grid) 에 정렬됩니다. 이렇게 하면 각 샘플의 데이터를 이미징 광학 (이미징 광학) 아래 (기계에서 샘플의 위치에 관계없이) 정확하게 찾을 수 있습니다. 내장 스티칭 알고리즘은 '슬라이드 앤 스티치 (slide-and-stitch)' 기능을 제공하여 스테이지가 아닌 선형성과 비대칭성에 대해 보상을 받으면서 동적 이미지 모자이크를 만들 수 있습니다. 즉, 재 작업, 공융, 다이 첨부 영역 (die attach area) 을 포함한 기판의 여러 부분의 데이터를 더 쉽게 비교할 수 있습니다. KLA/TENCOR 2367은 빠르고 효율적인 결함 감지를 위해 설계되었습니다. 이 자산은 고출력 (high-throughput) 전동 단계를 사용하여 최대 200mm/초의 속도로 전체 기판을 스캔 할 수 있습니다. 또한 EDA 링크와 같은 다양한 데이터 출력 소스의 통합을 지원하여 결함 - 설계 데이터 전송을 간소화합니다 (영문). 결론적으로 KLA 2367은 웨이퍼와 마스크를 검사하기에 이상적인 모델입니다. 정밀 이미징 (precision imaging), 고급 정렬 (advanced alignment) 기술 및 효율적인 스티칭 알고리즘의 조합으로 사용자가 결함의 기판을 검사할 때 최고 수준의 정확도를 얻을 수 있습니다.