판매용 중고 KLA / TENCOR 2367 #9226903
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ID: 9226903
웨이퍼 크기: 12"
Bright field patterned inspection system, 12"
(2) Load ports with FOUP capable (ASYST)
RFID Type: Load ports carrier reader
Robot: YASKAWA
Light source: 350 W Hg-Xe illumination
Image process system: TDI (3200MPPS)
Resolution: 120 nm
Pixel size: 0.12, 0.16, 0.20, 0.25, 0.39, 0.62 um
Special function: Edge contrast illumination mode
Light mode:
I-Line
G-line
Broadband UV
Visible
User interface
Power condition
Missing parts:
Qty Part no Description
(16) 0076508-000 Tested, SDB1600 MPX, v2 (Sensor daughter boards)
(1) 0279583-000 FRU assy, amplifier, stage,z
(1) 0093388-001 Tested, PSB 3200 MPX, boards b(DC to DC board)
(1) 730-774350-001 Cable, mac-d to x flex signal
(5) 0086079-002 Tested, input data adaptors (IDA PCB)
(1) 0031224-003 Assy, filter wheel,236x
(1) 730-733835-001 Cable, mac to mac-d power
(1) 730-772676-002 Cable, pneumatic solenoid pigtail
(1) 0095782-000 Assy, fiber optic node 0 to 5
(1) 0095784-000 Assy, fiber optic node 2 to 6
(1) 0095785-000 Assy, fiber optic node 3 to 7
(1) 0095787-000 Assy, fiber optic node 4 to 8
(1) 0095789-000 Assy, fiber optic node 5 to 9
(1) 0095791-000 Assy, fiber optic node 6 to 10
(1) 0095792-000 Assy, fiber optic node 7 to 11
(1) 0103943-000 Assy, fo, TDC 0 out, CRTA to node 0-1
(1) 0103944-000 Assy, fo, TDC 1 out, CRTA to node 2-3
(1) 0103945-000 Assy, SGB out to R tap
(1) 0095216-000 Net gear 24 ports net switch plus mounting bracket in UI box
(1) 0115395-000 Upper, monitor (VDU) in UI
(1) 0119930-000 G5 x-server R tap (APPLE Image system)
(4) 0101705-000 Assy, tested, G5 x-server nodes
(2) 0276654-000 FRU assy, tested power supplies, m31 host/n
(1) PN Unknown Trackball mouse on UI unit
(1) 0083821-000 Line conditioner (Mains transformer)
(3) 0298771-000 Image computer (APPLE) hard discs
(6) 0066560-000 SCC DELL Computer hard discs.
KLA/TENCOR 2367은 완전히 자동화된 비접촉 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 결함 감지, 임계 치수 측정, 포토 마스크 및 웨이퍼 패턴 레이아웃 모니터링을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 및 전용 광학 (Proprietary Optics) 을 사용하여 마스크와 웨이퍼의 앞면과 뒷면 모두에서 평면 및 3D 결함을 자발적으로 식별합니다. 또한 사용이 간편한 직관적인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 를 통해 숙련된 사용자와 초보자 모두 프로세스 최적화를 빠르고 효율적으로 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 이 장치는 4 인치 ~ 12 인치 크기의 웨이퍼와 4 인치 ~ 25 인치 크기의 마스크를 포함하여 다양한 부품을 수용하도록 구성 할 수 있습니다. KLA 2367은 고속 LED 소스를 사용하여 최대 처리 속도를 달성하는 한편, 전면 및 후면 검사 모두에 대해 초당 8 마이크로미터의 검사 속도를 허용합니다. 이 기계는 또한 초점 제어, 게인 제어, 정렬 교정 등을 포함하는 고급 이미지 개선 (Advanced Image Enhancement) 을 제공합니다. 또한, TENCOR 2367에는 결함을 검사하는 데 필요한 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 회전 (mask rotation) 의 양을 크게 줄여주는 특수 조명 도구가 있습니다. 이 기능은 또한 검사 광에 장기간 노출될 때 발생할 수있는 잠재적 결함을 제거합니다. 탁월한 Optic 및 고급 패턴 인식 외에도 2367 은 SPC (Statistical Process Control), 결함 분류, 검토 후 도구 등 다양한 자동 소프트웨어 및 데이터 분석을 제공합니다. 이를 통해 자산은 매우 정확하고 심각한 결함을 감지하고 기록할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 추적 가능성 (Traceability) 및 통계 분석 (Statistical Analysis) 모두에 적합한 맞춤형 보고서를 제공하는 포괄적인 보고서 생성 기능도 포함되어 있습니다. 또한 "포인트 앤 룩 (Point & Look)" 모듈을 통해 마스크와 웨이퍼 상의 특정 위치를 빠르고 쉽게 파악하고 검사할 수 있습니다. 따라서 수작업 현미경 (manual microscopy) 이나 기타 기술이 필요 없게 되어 분석 속도가 빨라지고 정확도가 높아집니다. 또한, KLA/TENCOR 2367 장비를 다른 장치와 통합하여 포괄적이고 자동화된 분석 프로세스를 수행할 수 있습니다. 궁극적으로, KLA 2367은 타의 추종을 불허하는 결함 감지 및 임계 치수 측정을 제공하여 광범위한 포토 마스크 및 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다.
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