판매용 중고 KLA / TENCOR 2367 #9206183
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판매
ID: 9206183
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Inspection system, 12"
Carrier ID readers
OS: Windows 2000 SP4
HSMS / GEM Semi E37 compliant ethernet interface:
HSMS (E5 / E30 / E37)
GEM/SECS Automation interface (E4 / E5 / E30)
SEMI E84
SEMI E116
Hokuyo sensors for use with:
Overhead transport (OHT)
Basic automation package: E39, E87, E90 (Carrier management/wafer tracking)
Advanced automation package E40. E94 (Process job, control job)
InlineADC
ITF
Load port UI
MDAT
Mixed mode
NFS Data transfer
Spatial population analysis:
Power options
Array segmentation
Patch images: 64x64
Pixel perfect
RBB
RBMT
Sensitivity tuner
NPA
Interface data transfer DVD-R ethernet
Hardware optic:
BB Visible pixels (0.62 mm, 0.39 mm, and 0.25 mm)
BB/I-Line/G-Line UV pixels (0.20 mm, 0.16 mm, and 0.12 mm)
Edge contrast
1600 MP PS Image computer
Array / Random modes
High mag review optics
Anti-blooming TDI
High resolution review camera
2006 vintage.
KLA/TENCOR 2367은 최고의 광학 및 이미지 센서 기술을 결합하여 탁월한 시각화 및 결함 감지를 제공하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 2 개의 독립적 인 6 축 스테이지 에뮬레이터가 포함되어 있습니다. 또한 브라이트 필드, 다크 필드 및 UV 이미징을위한 UV 광원이 있습니다. 다중 주파수 이미징 및 통합 백게이팅 기능을위한 자동화된 프로그래밍 가능한 조명기가 있습니다. MIS (Mask Inspection Unit) 에는 높은 배율에서 진정한 영역 검사를 위해 254mm 시야가 있습니다. 뷰 스티칭 (view stitching) 및 파면 도량형 (wavefront metrology) 과 같은 고급 3D 기능을 통해 정확한 검사 및 오버레이 기능을 제공합니다. 기계는 또한 표면 오염, 입자와 같은 작은 결함의 명확한 이미지를 식별하고 캡처 할 수 있습니다. WIS (Wafer Inspection Tool) 는 각 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의할 수 있는 자체 포함 에셋입니다. 이 모델에는 고해상도 이미징 카메라와 결함 감지를 위한 광학 광학 (optic) 과 표면 이미징을위한 여러 조명기가 포함되어 있습니다. WIS에는 직관적인 작동을 위한 멀티 터치 디스플레이 및 그래픽 사용자 인터페이스도 포함되어 있습니다. KLA 2367은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 신뢰할 수있는 장비입니다. 프로그래밍 가능한 컨트롤과 빠르고 정확한 스크리닝을 위해 자동 시퀀싱을 제공합니다. 또한 소형 결함 유형을 식별하고 쉽게 전송 가능한 이미지를 식별하는 고급 분석 기술 (Advanced Analytics Technology) 을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 사용자 친화적이며, 높은 다운타임 및 오류 비용으로 제품을 검사합니다. TENCOR 2367은 마스크 및 웨이퍼 제조, 반도체 산업을위한 훌륭한 솔루션입니다. 현재 사용 가능한 최첨단 기술을 통해 제품을 검사하고 있으며, 효율성과 품질을 높이는 데 매우 유용한 툴입니다 (영문). 이 장치는 강력한 기능과 유연성 (Flexibility) 을 통해 단기간에 하부/표면 수준의 결함을 쉽게 감지하고 캡처할 수 있습니다. 자동 (automated) 및 수동 (manual) 작업에 대한 탁월한 지원을 제공하여 모든 프로젝트의 최고 수준의 결과를 보장합니다.
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