판매용 중고 KLA / TENCOR 2365 #9251385

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ID: 9251385
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2006
Inspection system, 8" 2006 vintage.
KLA/TENCOR 2365 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 광범위한 자동 검사 작업을 원활하게 수행할 수 있도록 설계된, 매우 자동화된, 정확도가 높은 이미징 도구입니다. 이 시스템에는 고속, 고해상도 이미징, 분석, 상관 관계 및 인식 (Recognition) 작업을 수행할 수 있는 다양한 수준의 아트 기능이 장착되어 있습니다. KLA 2365는 다중 필드, 다중 대비 이미징, 스트로빙, 다크 필드 및 기타 다양한 고급 이미징 기술을 포함한 다양한 이미지 획득 모드를 갖추고 있습니다. 마스크 기판을 자동으로 정렬할 수 있도록 장치를 구성할 수 있으며, 최대 500mm/sec 의 스캐닝 속도를 제공합니다. 또한, "렌즈 '설계 는 조그만 작업장 과 최대 1" 미터' 의 고해상도 를 제공 하도록 구성 되어 있다. TENCOR 2365에는 통합 이미지 분석 스위트가 있으며, 퍼지 결함 감지 및 정확한 결함 인식을위한 고급 도구가 있습니다. 이 도구를 사용하면 신속한 자동 상관 관계 및 인식 작업을 수행할 수 있습니다. 여기에는 단일 CCD 이미징 주기 내에서 입자, 스크래치, 스크래치, 고, 저, 이중 면 결함 등 수많은 개체의 이미지를 검색, 감지, 인식하는 기능이 포함됩니다. 2365는 실시간, 온라인 결함 검토 및 목록 편집 기능도 제공합니다. 이렇게 하면 검토 후 (post-inspection) 단계 없이 라이브 제품을 성능 모니터링 및 개선할 수 있습니다. KLA/TENCOR 2365 마스크 및 웨이퍼 검사기는 고급 반도체 장치 검사 시장의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 다중 필드, 다중 대비 이미징, 스트로빙, 다크 필드 (dark field) 및 기타 다양한 고급 이미징 기술을 포함하여, 이 도구는 가장 포괄적이고 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션 중 하나입니다.
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