판매용 중고 KLA / TENCOR 2365 #9237491

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KLA / TENCOR 2365
판매
ID: 9237491
웨이퍼 크기: 8"-12"
Defect inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR 2365는 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 설계된 반자동 장비입니다. 이 시스템은 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 고성능 이미징, 레이저 스캔 광학 현미경 및 네트워킹 기능을 제공합니다. 마스크, 얇은 웨이퍼, 평면 패널 디스플레이 및 기타 대형 기판 검사를 위해 최적화되었습니다. 클라이 2365 (KLA 2365) 는 종합적인 이미지를 캡처하고 다양한 기판에 대한 높은 충실도 검사 기능을 제공하는 고급 CCD 이미징 장치입니다. 이 기계는 4 개의 이미징 모드 (영역, 경계, 라인 및 스팟) 와 5 개의 이미징 해상도 (0.7 ~ 5 미크론) 를 제공합니다. 이 다목적 이미징 도구를 사용하면 두껍고 얇은 금속 산화물 층, 얇은 산화물 필름 및 기타 복잡한 재료를 검사할 수 있습니다. TENCOR 2365에는 고급 레이저 스캔 광학 현미경 자산도 있습니다. 이 모델은 전체 칩에 걸쳐 4.5 나노미터 (4.5 나노미터) 의 해상도로 고해상도 이미지를 생성 할 수 있습니다. 스캐닝 (Scanning) 및 확대 (zooming) 도 가능하므로 사용자가 피쳐 수준까지 세부 정보를 얻을 수 있습니다. 또한 2365에는 다양한 네트워킹 기능이 있습니다. 이더넷 (Ethernet) 및 USB 2.0 인터페이스가 장착되어 있으며, 다른 KLA 시스템과 네트워크를 연결하여 다양한 장치 간에 데이터와 이미지를 공유할 수 있습니다. KLA/TENCOR 2365는 다재다능한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 얇고 두꺼운 기판에 대한 결함, 부적합, 외국 재료를 감지 할 수 있습니다. CCD 이미징 시스템 및 레이저 스캔 광학 현미경은 4.5 나노 미터 정도의 해상도에서 높은 충실도 검사를 제공합니다. 또한, 네트워크로 연결할 수 있으며 이더넷, USB 2.0 인터페이스 등의 기능과 다른 TENCOR 시스템 지원이 포함되어 있어 효율적인 데이터 및 이미지 공유가 가능합니다.
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