판매용 중고 KLA / TENCOR 2360 #293606935

KLA/TENCOR 2360은 도전적인 패턴 형상의 결함을 감지하고 식별하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고속 데이터 분석 및 향상된 처리량으로 고정밀 자동 검사를 제공합니다. 이 시스템은 구성 능력이 뛰어나며, 다양한 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 다양한 통합 모듈 (Integrated Module) 을 갖추고 있습니다. KLA 2360의 주요 구성 요소는 이미지 센서, 반음계 이미징 기술 및 광학 하위 시스템입니다. 이미지 센서는 검사된 패턴 형상의 2 차원 이미지를 기록하는 가변 수의 라인 스캔 카메라 (line scan camera) 로 구성됩니다. 반음계 이미징 (chromatic imaging) 기술은이 이미지 데이터를 처리하고 다양한 알고리즘을 사용하여 잠재적 결함 피쳐를 분리합니다. 잠재적인 결함 피쳐가 식별되면, 광학 서브시스템 (optics subsystem) 은 피쳐를 평가하고 그 존재 여부를 확인합니다. 또한 TENCOR 2360은 자동 장치 분류 및 기능 식별, 프로세스 제어 매개변수, 데이터 추출 알고리즘, 다양한 보고 옵션 등 다양한 고급 자동 감지 옵션을 제공합니다. 또한 사용자는 해상도, 뷰 필드 설정, 이미지 향상 소프트웨어, 프로그래머블 (programmable) 로직 컨트롤러, 피쳐 매개변수 추출 (feature parameter extraction) 등의 옵션을 사용하여 정확한 애플리케이션 요구에 맞게 장치를 사용자 정의할 수 있습니다. 기계는 0.2 미크론 정도의 다양한 결함, 복잡한 형상 패턴, 오염 및 브리징을 감지 할 수 있습니다. 첨단 이미징 (Advanced Imaging) 과 광학 서브시스템 (Optics Subsystem) 은 허위 결함 검출 (False Defect Detection) 을 최소화하고 결함 격리를 개선하는 한편, 강력한 데이터 분석을 통해 대규모 정보를 실시간으로 캡처 및 처리할 수 있습니다. 2360 은 다양한 호스트 제어 시스템 (Host Control System) 에 직접 접속할 수 있으며 간단한 설치, 설치 및 운영 프로세스를 제공합니다. 이 툴은 여러 시스템을 동시에 지원하도록 설계되었으며 두 명의 동시 사용자를 위해 사용자 콘솔 (user console) 을 두 개로 나눌 수 있습니다. 또한 자산의 구성 요소를 서비스 및 업그레이드할 수 있습니다. 결국, KLA/TENCOR 2360은 허위 감지 (false defect detection) 및 향상된 데이터 분석 기능으로, 다양한 결함을 감지하도록 구성 가능하고 자동화된 모델입니다. 간편한 설치/운영 프로세스를 지원하며, 사용자 지정 애플리케이션을 위한 다양한 옵션과 기능을 제공합니다 (영문).