판매용 중고 KLA / TENCOR 2360 IS #9187557

KLA/TENCOR 2360 IS (KLA/TENCOR 2360 IS) 는 파운드리 및 고급 논리 제조업체의 요구를 충족하도록 설계된 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 첨단 알고리즘과 정교한 광학 시스템 (Optics System) 을 통해 마스크 및 웨이퍼의 중요한 기능을 전례없는 속도와 정확도로 정확하게 파악하고 측정 할 수 있습니다. 전체 마스크 검사 기능은 LER (Line Edge Roughness) 측정을 포함하여 1 나노 미터의 정확도를 포함하여 높은 정확도의 결함 감지를 제공합니다. 광원 기반 검사 기술은 마스크 상의 국소 결함뿐만 아니라 MARC (microcontamination anti reflective coating) 및 박막 (thin film) 을 감지합니다. 이 시스템은 또한 자동 결함 분류를 수행하여 프로세스 유발 결함을 식별하고 필터링 (filtered out) 하여 전체 거짓 경보 속도 (false-alarm rate) 를 줄입니다. 웨이퍼 검사 기능에는 결함 검토 도구에 대한 고급 자동 결함 격리 (automated defect isolation), 매핑 (mapping) 및 인터페이스 (interface) 가 포함되어 결함 패턴을 신속하게 분석할 수 있습니다. 또한 소음이 적은 멀티 픽셀 이미징 (multi-pixel imaging) 기능을 통해 단일 픽셀 감도로 누락될 수 있는 결함을 감지할 수 있습니다. 또한 고속, 고해상도 웨이퍼 오버레이 도량형, 신경망 분류 및 결함 추적 알고리즘을 제공하여 정밀도를 높입니다. KLA 2360 IS에는 웨이퍼 및 기타 기판을 종합적으로 검사 할 수있는 AOI (Automated Optical Inspection) 기계가 포함되어 있습니다. 이 도구는 설치 공간, 라인 너비, 임계 치수 (CD), 오버레이 및 축소 검사에 대한 자동 패턴 일치 및 스팟 검사를 통해 제조업체의 수율 및 비용 절감 효과를 제공합니다. 또한, 유연한 소스 아키텍처는 초점 외 (out-of-focus) 및 전면 표면 모양 분석을 포함하여 다양한 수준의 시력 보정을 수용 할 수 있습니다. TENCOR 2360 IS 는 설치 및 프로세스 계획 지원을 위한 고급 자동화 시스템을 제공합니다. 자산의 자동 조정 (auto-calibration) 기능을 사용하여 에셋을 작업별 요구 사항에 맞게 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. 따라서 수작업 보정이 필요 없으므로 시간과 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 사용자에게 친숙한 GUI 를 통해 최소한의 교육을 통해 모델을 구성하고 운영할 수 있습니다. 전체적으로, 2360 IS는 강력하고 정밀하게 제작된 장비로, 마스크 및 웨이퍼 검사에 귀중한 수준의 성능과 효율성을 제공합니다. 고급 알고리즘, 정교한 광학 장치, 종합적인 자동화 기능을 갖춘 이 제품은 업계 최고의 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 시스템 중 하나입니다.