판매용 중고 KLA / TENCOR 2351-UI #9275961

ID: 9275961
빈티지: 2003
Wafer defect inspection system 2003 vintage.
KLA/TENCOR 2351-UI는 반도체 제조 공정에 인라인 통합되고 오프라인 시스템 향상을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 장치는 이미징 및 다이 레벨 모두에서 전체 웨이퍼 및 기판 검사를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 작업 및 웨이퍼 로트 샵의 다중 계층 마스크 및 웨이퍼 (wafer), 심각한 결함 검사, 결함 감지, 프로세스 변경 모니터링, 프로세스 제어 및 최적화 등에 대한 심각한 결함 검사를 수행 할 수 있습니다. KLA 2351-UI에는 고급 CCD (charge-coupled devices) 및 5 축 웨이퍼 스테이지로 구동되는 고품질 이미징 머신이 장착되어 있습니다. 이미징 도구는 인상적인 0.1 미크론의 해상도와 정확도를 제공합니다. 자산에는 고급 패턴 일치 기능, 크기와 모양에 따른 결함 격리, 고급 알고리즘을 사용한 정확한 결함 분류, 자동 결함 복구, 자동 결함 인식 (Automatic Defect Recognition) 등 다양한 자동/수동 기능이 포함되어 있습니다. 모델의 5축 단계에는 사용자 정의 소프트웨어 기반 프로그래밍 가능 동작 프로파일과 웨이퍼 동작의 실시간 제어 (Real-Time Control) 가 포함됩니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '를 빠른 속도 로, 매우 짧은 이동 시간 에 정확 하고 정확 하게 스캔 할 수 있게 된다. TENCOR 2351-UI (TENCOR 2351-UI) 는 편리한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 장비의 작동을 신속하게 설정, 구성 및 모니터링할 수 있도록 설계되었습니다. 시스템의 보고 기능 (BIST) 을 통해 결함 정보와 실시간 데이터에 대한 그래픽 보고서를 생성할 수 있습니다. 2351-UI 장치는 모든 반도체 제조 단계에서 품질 보증을 제공하도록 설계되었습니다. 컴팩트한 디자인의 손쉬운 작동, 강력한 성능, 정확한 결함 감지 기능을 제공합니다 (영문). 이 기계는 반도체 생산에 이상적이며 생산 라인 프로세스 지원에 이상적입니다.
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