판매용 중고 KLA / TENCOR 2350 #9314038

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KLA / TENCOR 2350
판매
ID: 9314038
웨이퍼 크기: 12"
Imaging inspection system, 12".
KLA/TENCOR 2350 Mask & Wafer Inspection Equipment는 고급 패턴 웨이퍼 결함 검사 응용 프로그램을 위해 설계된 도량형 플랫폼입니다. 광학 현미경, 전자 현미경, 스펙트럼 도구와 같은 고급 도량형 도구와 최신 고해상도 이미징 기능, 이미징 최적화를 위한 고급 알고리즘, 자동화된 결함 식별을 위한 정교한 소프트웨어 모듈 등을 결합했습니다 (영문). 클라 2350 (KLA 2350) 은 엄청난 시야를 자랑하며, 세부 3D 특성화 및 기능 추출에 필요한 해상도를 사용자에게 제공합니다. 이 시스템에는 고감도, 저소음 CMOS 이미징 카메라도 포함되어 있습니다. 전체 시야를 다루는 고출력 레이저 조명기; 패턴 화 된 웨이퍼 이미징을위한 고급 패턴 인식 및 이미지 처리 알고리즘. TENCOR 2350은 이미징, 도량형, 분석 기능의 독보적인 조합을 제공하여, 최대의 속도와 정확도로 마이크로 스케일 (micro scale) 기능과 패턴을 보고, 검토하고, 측정할 수 있습니다. 개요 및 고해상도 이미징을 위해 이중 빔 실시간 광학 현미경, 주사 전자 현미경 (SEM) 을 제공합니다. 고급 도량형 (advanced metrology) 기능을 통해 단위는 단일 및 다중 레이어 모두에서 임계 치수, 선 너비, 높이를 극도로 정확하게 측정할 수 있습니다. 2350 에는 자동 결함 분류, 자동 결함 보고, 마스크 검사 등 다양한 고급 소프트웨어 모듈이 함께 제공됩니다. 이 모듈을 사용하면 컴퓨터가 최대 정확도로 다양한 수율 크리티컬 (yield-critical) 기능을 신속하게 식별하고 통과/고장날 수 있습니다. 이 도구는 추가 분석을 위해 결함의 우선 순위를 지정할 수도 있습니다. KLA/TENCOR 2350은 모든 웨이퍼 제조 시설에 적합한 강력한 자산입니다. '결함 감지 (Defect Detection)' 와 '특성화 (Characterization)' 를 간소화하여 시간과 비용을 절감할 수 있습니다. 즉, 엔지니어가 신속하고 정확하게 작은 결함을 발견하여 비용 효율적인 시정 (corrective) 조치를 개발하고 제품의 고품질 (High Quality) 을 보장할 수 있음을 의미합니다.
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