판매용 중고 KLA / TENCOR 2350 #9270104

KLA/TENCOR 2350은 고급 집적 회로 생산에 사용되는 반도체 웨이퍼 및 마스크 결함을 식별하기 위해 설계된 Mask and Wafer Inspection Equipment입니다. 이 시스템은 조명 기능 (luminating) 과 보기 기능 (viewing function), 머신 비전 기술 (machine vision technique), 이미지 및 데이터 처리 (image and data processing) 의 조합을 사용하여 감지하기 어려운 결함을 감지하고 분석합니다. KLA 2350에는 광원, 5 메가 픽셀 CMOS 이미지 센서, 이미징 광학, 특수 반사 및 전송 광학을 포함한 고급 광학 부품 어레이가 장착되어 있습니다. 이 장치의 광원은 NIR (visible and near-infrared) 파장에서 6 개의 좁은 밴드 스펙트럼 슬라이스를 사용하여 불투명 및 반 투명 패턴을 이미징 할 수있는 높은 동적 범위 및 대비를 제공합니다. 또한, 기계의 이미징 광학은 필드 곡률 및 왜곡, 선명도, 조명, 공구 성능 향상과 같은 수정 기능을 제공합니다. TENCOR 2350의 CMOS 이미지 센서는 최대 500nm 해상도로 초당 최대 10개의 웨이퍼를 스캔할 수 있으므로 고품질 이미지 캡처가 가능합니다. 에셋은 또한 파장별 결함 검출 (Flection Detection) 을 제공하며, 이는 다른 조명 및 시청 기능을 사용하여 특정 파장의 빛을 가진 결함을 식별합니다. 데이터 분석을 용이하게 하기 위해 2350 은 강력한 이미지 및 데이터 처리 모델을 갖추고 있습니다. 이 장비는 마스크와 웨이퍼 결함을 모두 측정, 분석, 분류할 수 있습니다. 고급 (Advanced) 알고리즘을 사용하여 대용량 운영 환경에서도 최고 수준의 이미지와 결함 인식 (Defect Recognition) 을 보장합니다. 또한, 이 시스템에는 자동화된 현미경 (microscopy) 및 이미지 분석 소프트웨어 (image analysis software) 와 같은 통합 검사 도구가 장착되어 있어 매우 정확하고 자동화된 결함 식별이 가능합니다. KLA/TENCOR 2350은 매우 다양하고 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 첨단 (Advanced) 옵틱과 강력한 이미지 처리 및 분석 기능으로, 고급 반도체 IC (Advanced Semiconductor IC) 의 성공적인 생산에 필수적인 도구가되었습니다.